Лунин, А.Н. Харланов (кафедра физической химии; e-mail: lbs@kge.msu.ru) Исследован процесс релаксации структуры кварцевого стекла КУ-1 при отжиге в диапазоне температур 825–980°С, определена энергия активации релаксационного процесса. <...> Предложено выражение для расчета постоянной времени релаксации структуры кварцевого стекла КУ-1: τ = 2⋅10–15 exp(85800/RT), [ч]. <...> Кварцевое стекло в качестве конструкционного материала широко используется не только в оптической промышленности, но и при производстве высокодобротных механических резонаторов. <...> Для достижения малых диссипативных потерь в кварцевом стекле необходимо уменьшить в нем внутреннее напряжение, что обычно достигается путем высокотемпературного отжига. <...> Протекающие при этом структурные релаксационные процессы были предметом исследования немногочисленных работ, наиболее подробно релаксация структуры безводного кварцевого стекла исследована в [1]. <...> Авторы этой работы отслеживали спектральным методом процесс установления фиктивной температуры стекла в диапазоне температур отжига 1000–1300°С, определяли температурную зависимость постоянной времени релаксации структуры безводного кварцевого стекла и показали различие в кинетике релаксационных процессов, протекающих в объеме и в приповерхностном слое. <...> С практической точки зрения для изготовления высокодобротных механических резонаторов наибольший интерес представляет кварцевое стекло типа III, характеризующееся малым уровнем диссипативных потерь и относительной дешевизной. <...> Особенностью этого типа кварцевого стекла является достаточно высокая концентрация гидроксильных групп (∼1300 ppm), связанная с технологией его производства, и низкая концентрация других примесей (единицы ррм). <...> Массовое производство такого кварцевого стекла организовано в ряде стран под различными торговыми марками: КУ-1 (Россия), Corning 7940 (США), Suprasil 1,2,3 (Германия), Tetrasil (Франция) и др. <...> При выборе теплового режима отжига деталей из кварцевого <...>