Духопельников Магнетронные распылительные системы В двух частях Часть 1 Устройство, принципы работы, применение Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. <...> Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. <...> Магнетроны применяются при создании гибких печатных плат, легких электростатических экранов и экранно-вакуумной изоляции для космической техники, теплосберегающего остекления, экранов систем отображения информации. <...> Экспериментаторы делились между собой опытом и вырабатывали критерии (зачастую ошибочные), по которым можно было определить, заработает магнетрон или нет. <...> Выяснилось, что в физическом плане магнетронный разряд очень сложен и неудобен при экспериментальных исследованиях, а теоретические модели громоздки и плохо согласуются с опытом. <...> Практически всегда разряд 3 в МРС зажигается, но, как правило, магнетрон работает неудовлетворительно, и допущенные ошибки исправляются после длительной экспериментальной отработки. <...> Магнетронные распылительные системы по принципу организации разрядного промежутка похожи на холловские ускорители (ускорители с анодным слоем и стационарные плазменные двигатели). <...> Поток материала в МРС получается в результате распыления катода ионами (катодное распыление). <...> Физические основы процессов, происходящих при катодном распылении, изложены в работах [6–8]. <...> Они пришли на смену системам катодного распыления, ранее широко применявшимся в полупроводниковой промышленности. <...> Таким способом получают износостойкие покрытия высочайшей твердости, сварочные фольги, специальные оптические покрытия (например, зеркала и интерференционные фильтры, работающие в жестком ультрафиолетовом или рентгеновском излучении), покрытия со специальными электрофизическими свойствами, например, пленки с эффектом «гигантского магнитного сопротивления» (GMR-эффект), которые используются для создания чувствительных датчиков магнитного поля или головок чтения <...>
Магнетронные_распылительные_системы._Часть_1._«Устройство,_принципы_работы,_применение».pdf
УДК 621.793:537.525(075.8)
ББК 32.848.4
Д85
Рецензенты: Л.А. Дудко, В.П. Подчезерцев
Д85
Духопельников Д. В.
Магнетронные распылительные системы : учеб. пособие:
в 2 ч. — Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение /
Д.В. Духопельников. — М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана,
2014. — 53, [2] с. : ил.
ISBN 978-5-7038-3798-6
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики
магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические
процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные
типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции
МРС с электромагнитной системой.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности
«Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и
инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
УДК 621.793:537.525(075.8)
ББК 32.848.4
ISBN 978-5-7038-3798-6
МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014
c
Стр.2
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение ........................................................ 3
1. Общие сведения о магнетронных распылительных системах . . . . 5
2. Устройство, принцип работы, основные характеристики
и конструктивные схемы магнетронных распылительных систем 7
3. Физические процессы в разряде и на катоде магнетронной
распылительной системы...................................... 20
4. Особенности технологических процессов в магнетронных
распылительных системах ..................................... 34
5. Импульсные магнетронные распылительные системы........... 44
6. Распыление магнитных материалов ............................ 46
7. Конструкция магнетронной распылительной системы
МРС-100ЭМ .................................................. 4
Заключение ...................................................... 51
Литература ...................................................... 52
Стр.55