Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ В трех частях Часть 1. <...> Методы микрообработки Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. <...> – 36, [4] с. : ил. мые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. <...> Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. <...> ВВОДНАЯ ЧАСТЬ В пособии рассматривается новая область технических разработок – микросистемная техника. <...> Они изготавливаются на основе групповой обработки интегральных схем (ИС) и могут иметь размеры от нескольких микрометров до нескольких миллиметров. <...> В настоящее время в мировой практике для обозначения фактически одного и того же направления наиболее часто используются понятия: в США – MEMS и MOEMS (микроэлектромеханические и микрооптомеханические системы); в Японии – MICROMACHINING (микрообработка); в европейских странах – MST (технология микросистем). <...> В России с 1996 г. в «Перечне критических технологий Федерального уровня» официально используется термин «микросистемная техника», а в утвержденный Президентом России 30 марта 2002 г. «Перечень критических технологий Российской Федерации» микросистемная техника внесена как самостоятельная критическая технология, содержание которой определено следующим образом: «Сверхминиатюрные механизмы, приборы, машины с ранее недостижимыми массогабаритными, энергетическими показателями и функциональными параметрами, создаваемые интегрально-групповыми экономически эффективными процессами микро- и нанотехнологии». <...> Микроэлектромеханическая система (МЭМС) состоит из механических микроструктур, микродатчиков, микроактюаторов и микроэлектроники, объединяемых на одном кремниевом чипе, взаимодействие которых иллюстрирует рис. <...> Взаимосвязь между компонентами МЭМС Наиболее распространенными составными частями различных <...>
Технология_микросистемной_техники._Часть_1._Методы_микрообработки.pdf
УДК 621.38
ББК 32.85
Т38
Рецензенты: В.С. Кондратенко, Ю.Б. Цветков
Технология микросистемной техники : учеб. пособие / О.С. НаТ38
райкин, В.В. Холевин, И.И. Данилов, В.А. Шалаев. – ч. 1 :
Методы микрообработки. – М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана,
2010. – 36, [4] с. : ил.
мые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка,
поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены
сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике,
и о методах соединения слоев микросистем.
Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специальностей.
УДК
621.38
ББК 32.85
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяе
МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010
Стр.2
ОГЛАВЛЕНИЕ
1. Вводная часть .......................................................................................... 3
2. Материалы для микрообработки ........................................................... 8
2.1. Подложки ................................................................................ 8
2.2. Аддитивные пленки и материалы ........................................ 12
3. Фотолитография ...................................................................................... 19
4. Объемная микрообработка ..................................................................... 21
4.1. Особенности обработки ........................................................ 21
4.2. Изотропное и анизотропное (направленное)
жидкостное травление ........................................................... 22
4.3. Травление с барьерным слоем .............................................. 24
5. Поверхностная микрообработка ............................................................ 27
6. Технология LIGA .................................................................................... 31
7. Соединение слоев внутри микросистемы ............................................. 33
7.1. Анодное cоединение .............................................................. 33
7.2. Соединение с помощью вспомогательного слоя ................ 34
7.3. Прямое cоединение ................................................................ 35
Литература ................................................................................................... 36
37
Стр.37