Малышев, Е.А. Скороходов, В.А. Шалаев НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ САМООРГАНИЗАЦИИ НАНОСТРУКТУР И НАНОСБОРКИ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ Рекомендовано редсоветом МГТУ им. <...> Нанотехнологические процессы самоорганизации наноструктур и наносборки радиоэлектронных систем: Учеб. пособие. <...> ISBN 978-5-7038-3265-3 Рассмотрены процессы изготовления наноструктур различных размерностей с помощью их самоорганизации и наносборки, описаны процессы самосборки 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц). <...> Коллектив Алферова столкнулся с проблемой получения арсенид-индиевых нанослоев хорошего качества. <...> Эти нанослои никак не удавалось вырастить гладкими и сплошными. <...> Вместо искомого полупроводникового лазера на квантовых ямах в результате был получен гораздо лучший лазер на квантовых точках. <...> В пособии рассматриваются процессы самоорганизации 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0Dнаноструктур (наночастиц). <...> Наносборка, самосборка и самоорганизация наноструктур Наноструктуры различных размерностей можно собирать из других наноструктур, как из деталей конструктора. <...> 1.1 показана наноструктура, состоящая из нанослоя 1, нанонити 2 и наночастиц 3, которая может входить в состав будущих наноэлектронных интегральных схем и наноэлектромеханических систем. <...> Для реализации традиционного «микроэлектронного» направления требуется использовать бездефектные материалы и сверхчистые условия, например сверхвысокий вакуум и чистые комнаты для оборудования и персонала. <...> Преимуществами «самоорганизационной» концепции нанотехнологии являются: 1) дешевизна процесса (не нужны сверхвысокий вакуум и сверхчистые материалы и подложки); 2) гармоничность взаимодействия природы и человека, что жизненно важно для общества и личности, особенно в условиях нынешнего экологического кризиса. <...> Таким образом, в рамках самоорганизационного направления нанотехнологии термины «наносборка <...>
Нанотехнологические_процессы_самоорганизации_наноструктур_и_наносборки_радиоэлектронных_систем.pdf
УДК 621.38(075.8)
ББК 32.85
М207
Рецензенты: В.В, Маркелов, Г.Ф, Гармаш
М207
Малышев К.В., Скороходов Е.А., Шалаев В.А.
Нанотехнологические процессы самоорганизации наноструктур
и наносборки радиоэлектронных систем: Учеб. пособие.
— М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008. — 54 с.: ил.
ISBN 978-5-7038-3265-3
Рассмотрены процессы изготовления наноструктур различных
размерностей с помощью их самоорганизации и наносборки, описаны
процессы самосборки 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур
(нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц). Приведены основные
понятия и описаны процедуры, необходимые для экспериментального
и теоретического изучения процессов самоорганизации наноструктур,
применяемых в нанотехнологиях.
Для студентов 6-го курса.
УДК 621.38(075.8)
ББК 32.85
ISBN 978-5-7038-3265-3
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008
Стр.2
ОГЛАВЛЕНИЕ
Предисловие.................................................................................................3
1. Технология процессов самоорганизации наноструктур..........................5
1.1. Наносборка, самосборка и самоорганизация наноструктур .............5
1.2. Сборка приборов из наноструктур различных размерностей...........7
1.3. Самоорганизация квантовых точек и грядок из InAlGaAs ...............9
1.4. Наносборка с помощью сканирующего туннельного
микроскопа.......................................................................................13
1.5. Экспериментальные и вычислительные процедуры при изучении
самоорганизации..............................................................................16
2. Математическое моделирование процессов самоорганизации.............20
2.1. Фазовое пространство .....................................................................20
2.2. Уравнение непрерывности в фазовом пространстве.......................23
2.3. Основное кинетическое уравнение .................................................26
2.3. Уравнение Фоккера — Планка........................................................34
2.5. Изменение энтропии при самоорганизации....................................41
Заключение ................................................................................................51
Список рекомендуемой литературы..........................................................52
53
Стр.53