Рассмотрены основные схемы низковакуумных, высоковакуумных и сверхвысоковакуумных систем. <...> Дано обоснование выбора средств откачки для конкретных условий. <...> Вакуумная техника используется преимущественно в таких разделах электротехники, как электрические аппараты высокого напряжения, электротехническое оборудование специального назначения (термоядерные установки, ускорители), электрооборудование транспорта, светотехника и инфракрасная техника. <...> В электротехнической промышленности вакуумная техника находит применение в сушильных и пропиточных установках для производства трансформаторов, конденсаторов, кабелей и т. д. <...> Вакуумная система — совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов. <...> Вакуумная установка — установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие (к устройствам, обеспечивающим действие вакуумной системы, относятся, например, электродвигатель, аккумуляторы, печи). <...> Вакуумный агрегат — вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое. <...> Откачн´ ой пост — вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий. <...> Элемент вакуумной системы —прибор, сборочная единица или деталь, предназначенные для выполнения определенных функций в вакуумной системе (например, насос, манометрический преобразователь, ловушка и др.) <...> 8 Уравнительный вакуумный баллон — сосуд, предназначенный для выравнивания колебаний давления в вакуумной системе. <...> Вакуумный трубопровод — трубопровод, по которому перемещается разреженный газ в вакуумной системе. <...> Форвакуумный трубопровод — вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу. <...> Байпасный трубопровод — вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос. <...> Гребенка — трубка <...>
Вакуумные_системы.pdf
УДК 621.521(075.8)
ББК 31.77
Д30
Рецензенты: С.Б. Нестеров, Ю.В.Панфилов
Д30
Демихов К.Е.
Вакуумные системы : учеб. пособие / К.Е. Демихов,
Н.К. Никулин. – М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010. –
72, [4] с. : ил.
Изложены основные закономерности построения вакуумных систем.
Рассмотрены основные схемы низковакуумных, высоковакуумных
и сверхвысоковакуумных систем. Дано обоснование выбора
средств откачки для конкретных условий. Приведены примеры расчета
вакуумных систем. Рассмотрены понятия и законы, используемые
при расчете высоковакуумных систем, а также дано теоретическое
определение проводимости основных их элементов (диафрагмы, вакуумпроводы
различного сечения) при молекулярном, вязкостном и
переходном режимах течения газа.
Для студентов 3- и 5-го курсов машиностроительных и приборостроительных
специальностей.
УДК 621.521(075.8)
ББК 31.77
-МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010
c
Стр.2
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1. Термины и определения вакуумной техники . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2. Вакуумная система и ее элементы. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1. Процесс откачки . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.2. Принцип действия и схемы вакуумных систем . . . . . . . . . . . . . 23
2.3. Расчет централизованных вакуумных систем . . . . . . . . . . . . . . 32
2.4 Испытания вакуумных насосов и агрегатов . . . . . . . . . . . . . . . . 33
3. Материалы, используемые для изготовления деталей вакуумных
систем . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
3.1. Металлы и сплавы . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3.2. Неметаллы. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
3.3. Вакуумные свойства материалов. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
4. Пример расчета высоковакуумной системы для откачки вакуумной
камеры . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
Литература . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
Стр.75