Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического…
УДК 534:535
Метод измерения распределения толщин
ITO-покрытий с помощью акустооптического
видеоспектрометра
© А.В. Перчик, В.Л. Толстогузов, К.В. Стасенко, В.Г. Цепулин
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Описан принцип работы акустооптического спектрометра изображений и методика определения с его помощью распределения толщины тонких пленочных покрытий. <...> Токопроводящие пленочные покрытия широко используются при производстве прозрачных электродов жидкокристаллических экранов, органических светодиодов (OLED) и сенсорных
экранов (Touchscreen). <...> Для нанесения таких покрытий необходим
прозрачный в видимой области материал, электрическая проводимость которого сравнима с проводимостью металлов. <...> Подобными
свойствами обладает оксид индия-олова (англ. indium tin oxide или
ITO), представляющий собой твердый раствор, содержащий 90 % оксидов индия (III) и 10 % олова (IV). <...> Контроль качества поверхности
таких покрытий (наличие или отсутствие царапин, сколов, неравномерности нанесения, разрывов дорожек) является важной задачей
при их производстве, поскольку наличие дефектов может оказать
негативное влияние на характеристики индикаторов. <...> В данной работе на основе акустооптического фильтра изображений создана экспериментальная установка для определения пространственного распределения толщин тонких пленочных ITO-покрытий бесконтактным спектральным оптическим методом. <...> Акустооптические
видеомонохроматоры предназначены для выделения из светового потока с широким спектром узкого спектрального диапазона и перестройки центральной длины волны этого диапазона в соответствии с
управляющим сигналом [1]. <...> Для фильтрации используется селективность анизотропного брэгговского рассеяния света на акустической
волне. <...> Принцип работы акустооптического фильтра заключается в
том, что длины волн света и ультразвука связаны с углом падения
светового <...>