УДК 621.793;621.794.4;621.923.7;531.768
Применение нанотехнологических методов
для изготовления пластины маятникового акселерометра
© Г.Р. Сагателян, К.Л. Новосёлов, А.В. Шишлов, С.А. Щукин
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Рассмотрены вопросы нанотехнологического обеспечения показателей качества
пластин маятниковых акселерометров. <...> Обосновано применение двухсторонней
доводки связанным абразивом для обеспечения требуемой плоско-параллельности
пластин. <...> Показана возможность формирования выступов и впадин, предусмотренных конструкцией пластины, методом плазмохимического травления. <...> Предложена
методика обеспечения равномерной толщины тонкопленочных покрытий, применяемых в качестве маски при плазмохимическом травлении. <...> Ключевые слова: маятниковый акселерометр, кварцевая пластина, доводка, плазмохимическое травление, ионно-плазменное напыление, магнетронное распыление. <...> Особенности конструкции
кварцевых пластин предопределяют применение нанотехнологических
методов для их изготовления. <...> Высокие требования по шероховатости (Rz = 25 нм), отклонениям
от плоскостности и плоско-параллельности сторон (не более 500 нм)
обусловливают необходимость создания нового оборудования и технологической оснастки для выполнения операций абразивной доводки и
полирования. <...> Конструкции станков для двухсторонней доводки и полирования должны обеспечивать минимальность силового воздействия
сепаратора на заготовки. <...> Применяемые для изготовления притиров и
полировальников абразивно-инструментальные материалы должны об1 <...> Конструктивное устройство маятникового акселерометра (а) и его
пластины (б): 1, 3 — корпуса; 2 — кольцо; 4 — пластина; 5, 6 — крышки;
7 — втулка, 8 — магнит; 9 — полюсный наконечник; 10, 11 — катушки
ладать высокой контактной жесткостью для обеспечения минимальных
отклонений от плоскостности обработанных поверхностей пластины,
а также высокими показателями абразивно-полирующего воздействия
на кварцевое <...>