С. В. Булярский, А. С. Басаев
ОСОБЕННОСТИ УПРАВЛЯЕМОЙ
ТЕХНОЛОГИИ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК
Аннотация. <...> Исследовано влияние различных факторов на рост углеродных
нанотрубок (УНТ). <...> Показано, что скорость роста массива на катализаторе
FeNiCo20/Al толщиной менее 10 мкм замедляется. <...> Концентрации ферроцена
в газовой смеси оказывает существенное влияние на рост УНТ. <...> Снижение
концентрации ферроцена увеличивает свободную энергию расплава и приводит к росту нанотрубок меньшего диаметра и меньшее число стенок – 2 или 3. <...> Проанализированы технологические возможности
формирования отдельно стоящих УНТ. <...> The authors investigate the influence of various factors on carbon nanotubes (CNT) growth. <...> Reduction of
ferrocene concentration increases free melting energy and leads to the growth of
nanotubes with smaller diameter and to a fewer amount of walls – 2 or 3. <...> Increasing
the ferrocene concentration over 1 % leads to a decrease in the quality of nanotubes
growth. <...> The authors analyze the technological possibilities of free-standing nanotubes formation. <...> Исследования последних лет показали, что рост углеродных нанотрубок (УНТ) можно успешно совмещать с процессами кремниевой планарной
технологии [1, 2]. <...> Для успешной реализации данной задачи необходимо, чтобы рост УНТ был
управляемым с предсказуемыми параметрами. <...> Росту многостенных УНТ благоприятствуют,
как правило, температуры от 500 до 1000 °С, а рост одностенных углеродных
нанотрубок (ОУНТ) происходит при более высоких температурах, хотя в последнее время сообщалось о росте ОУНТ при 750 °С [6, 7]. <...> Важную роль при
росте УНТ играет катализатор. <...> Применяются различные методы формирования наночастиц катализаторов [8, 9]. <...> Например, используется предварительное испарение металла катализатора в виде тонкой пленки [10, 11]. <...> Поволжский регион
В настоящей работе исследуется влияние толщины подслоя катализатора на скорость роста массива углеродных нанотрубок, влияние концентрации
ферроцена и других факторов на получение отдельно стоящих нанотрубок. <...> Влияние подслоя катализатора
Были изготовлены образцы массивов УНТ, топология которых представляла ступенчатую змейку <...>