И. А. Аверин, Ю. В. Аношкин, Р. М. Печерская
ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА МОРФОЛОГИЮ ПОВЕРХНОСТИ
И ВЫХОДНЫЕ ПАРАМЕТРЫ РЕЗИСТИВНЫХ СТРУКТУР
Представлены результаты исследования влияния отжига в воздушной
среде на свойства пленок и параметры структур на их основе. <...> Показано, что
отжиг приводит к рекристаллизации структуры резистивных пленок, вызывающей изменение свойств, морфологии поверхности пленок и стабилизацию
выходных параметров резистивных структур. <...> Разработана физикоматематическая модель управления выходными параметрами резистивных
структур за счет выбора режимов конденсации и отжига. <...> Введение
Для изготовления чувствительных элементов преобразователей информации широко применяются многокомпонентные металлопленочные резистивные структуры на основе хромоникелевых сплавов, которые получают
методом термического испарения в вакууме, обеспечивающим как заданные
свойства пленок, так и морфологию поверхности, определяющую поверхностные явления, а следовательно, и выходные параметры резистивных структур. <...> Управление свойствами пленок хромоникелевых сплавов достигается за
счет их термической обработки в воздушной среде [1–3], вызывающей отжиг
дефектов и рекристаллизацию структуры пленки. <...> 1 Методика эксперимента
Резистивные структуры на основе хромоникелевых сплавов различного
состава синтезируют методом термического испарения в вакууме на подложках из слюды и ситалла. <...> В качестве исходной загрузки применяют сплав типа
Х20Н75Ю. <...> Контактные площадки к резистивным структурам формируют из
Al и Cu. <...> Форму, размеры резистивных структур и контактных площадок задают с помощью биметаллических масок. <...> Отжиг структур производят в воздушной среде в диапазоне температур
от 350 до 700 K. <...> Для исследования морфологии поверхности применяют атомносиловой микроскоп с максимальной областью сканирования (80×80) мкм2. <...> Атомно-силовой микроскоп позволяет получать трехмерные изображения
топологии поверхности пленок <...>