Известия высших учебных
заведений
ЭЛЕКТРОНИКА
5(109)’2014
Учредители:
Министерство
образования и науки
Российской Федерации
Национальный
исследовательский
университет «МИЭТ»
Главный редактор
Вернер В.Д., д.ф.-м.н., проф.
Зам. главного редактора
Чаплыгин Ю.А., чл.-корр. РАН,
д.т.н., проф.
Редакционная коллегия:
Амербаев В.М., акад. НАН
Респ. Казахстан, д.т.н., проф.
Бархоткин В.А., д.т.н., проф.
Быков Д.В., д.т.н., проф.
Гаврилов С.А., д.т.н., проф.
Грибов Б.Г., чл.-корр. РАН,
д.х.н., проф.
Казённов Г.Г., д.т.н., проф.
Коноплёв Б.Г., д.т.н., проф.
Коркишко Ю.Н., д.ф.-м.н., проф.
Королёв М.А., д.т.н., проф.
Кубарев Ю.В., д.ф.-м.н., проф.
Лабунов В.А., акад. НАН
Беларуси, д.т.н., проф.
Максимов И.А., PhD, проф.
Лундского университета
(Швеция)
Неволин В.К., д.ф.-м.н., проф.
Неволин В.Н., д.ф.-м.н., проф.
Петросянц К.О., д.т.н., проф.
Руденко А.А., канд.т.н., доц.
Сазонов А.Ю., PhD, проф.
Университета Ватерлоо
(Канада)
Таиров Ю.М., д.т.н., проф.
Телец В.А., д.т.н., проф.
Тихонов А.Н., д.т.н., проф.
Усанов Д.А., д.ф.-м.н., проф.
© “Известия вузов.
Электроника”, 2014
© МИЭТ, 2014
СОДЕРЖАНИЕ
Материалы электронной техники
Завгородняя М.И., Лавров И.В., Фокин А.Г. Аналитический
подход к вычислению эффективных диэлектрических
характеристик гетерогенных текстурированных
материалов с включениями случайной формы .................. 3
Пищанский С.В. Моделирование структурных фрагментов
веществ с наноразмерной дисперсностью ............. 15
Технология микро- и наноэлектроники
Кондрашов В.А., Розанов Р.Ю., Неволин В.К., Царик К.А.
Исследование морфологии поверхности карбида кремния
6H-SiC после высокотемпературного травления в
восстановительной среде...................................................... 24
Гармаш В.И., Егоркин В.И., Земляков В.Е.,
Ковальчук А.В., Шаповал С.Ю. Исследование влияния
структуры плазмохимического нитрида кремния на маскирующие
свойства .............................................................. 33
Сафонов С.О., Беспалов В.П., Путря М.Г., Фоминых С.В.
Методика определения электромиграционной надежности
металлических проводников интегральных схем ........ 39
Микроэлектронные приборы и системы
Барабаненков М.Ю., Вяткин А.Ф., Волков В.Т.,
Грузинцев А.Н., Ильин А.И., Трофимов О.В. Исследование
кремниевых полосковых волноводов с дифракционными
решетками и фотонными кристаллами, настроенными
на длину волны 1,5 мкм ......................................... 45
Рязанцев Д.В., Грудцов В.П. Экстракция параметров
наноразмерных МДП-структур путем расчета вольтфарадных
характеристик ..................................................... 51
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Стр.1
Заведующая редакцией
С.Г. Зверева
Редактор
А.В. Тихонова
Научный редактор
С.Г. Зверева
Корректор
И.В. Проскурякова
Компьютерный дизайн, верстка
А.Ю. Рыжков
С.Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498,
Москва, Зеленоград,
проезд 4806, д. 5, МИЭТ
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://www.miet.ru
Подписано в печать 14.10.2014.
Формат бумаги 6084 1/8.
Цифровая печать.
Объем 12,09 усл.печ.л.,
11,3 уч.-изд.л.
Заказ № 59.
Отпечатано
в типографии ИПК МИЭТ
124498, Москва, Зеленоград,
проезд 4806, д. 5, МИЭТ
Свидетельство о регистрации
№ 014134
выдано Комитетом РФ по печати
12.10.95.
Включен в Перечень российских
рецензируемых научных журналов,
в которых должны быть опубликованы
основные научные результаты
диссертаций на соискание ученых
степеней доктора и кандидата наук.
Включен в Российский индекс
научного цитирования.
Нанотехнология
Тучин А.В., Битюцкая Л.А., Бормонтов Е.Н. Теоретическое
исследование работы выхода электронов из ограниченной
по длине одностенной углеродной нанотрубки
с хиральностью 5,5 .................................................... 58
Герасименко А.Ю., Ичкитидзе Л.П., Селищев С.В.,
Благов Е.В., Павлов А.А., Галперин В.А., Кицюк Е.П.,
Шаман Ю.П. Исследование температурного коэффициента
сопротивления слоев композитных материалов ....... 63
Схемотехника и проектирование
Лосев В.В., Чаплыгин Ю.А., Орлов Д.В. Помехозащищенная
система кодирования «1 из 4» с активным нулем
для вычислительных систем ............................................... 68
Хорошайлова М.В., Мушта А.И. Определение параметров
цифровой ячейки в нано- и субмикронных технологических
базисах .......................................................... 75
Микро- и наносистемная техника
Мальцев П.П., Майтама М.В., Павлов А.Ю.,
Щаврук Н.В. Разработака узкополосного СВЧ микроэлектромеханического
переключателя для частотного
диапазона 10-12 ГГц на подложках арсенида галлия ....... 81
Микропроцессорная техника
Щагин А.В., Вэй Ян Лвин, Наинг Лин Зо,
Пьо Хылам Хтут. Модель микропроцессорного устройства
управления углом тангажа и крена беспилотного
летательного аппарата ..................................................... 88
Краткие сообщения
Егоров В.К., Афанасьев М.С., Егоров Е.В.,
Лукьянченко Е.М. Спектрометрия с рентгеновскими
волноводами-резонаторами для следового элементного
анализа в нанотехнологии ................................................... 94
Конферениции
7-я Всероссийская научно-практическая конференция
«Актуальные проблемы информатизации в науке, образовании
и экономике – 2014»..................................................
4 стр. обложки
Contents ................................................................................ 97
Abstracts ............................................................................... 98
К сведению авторов ............................................................ 103
2
Известия вузов. ЭЛЕКТРОНИКА № 5(109) 2014
Стр.2