ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНКИ НИТРИДА КРЕМНИЯ ПОСЛЕ Zn/ O ИМПЛАНТАЦИИ (726,00 руб.)

Первый автор	Привезенцевa
Авторы	Фирсовa А.А., Куликаускасb В.С., Затекинb В.В., Киселевc Д.А., Старухинаc С.С., Терещенкоd А.Н.
Страниц	7

ID	959723
Аннотация	Приведены результаты синтеза субмикронных частиц в пленке нитрида кремния на кремниевой подложке, имплантированной ионами 64Zn+ с дозой 5 × 1016 cм–2 и энергией 60 кэВ и кислорода 16О+ с дозой 7 × 1016 cм–2 и энергией 20 кэВ. Пленка Si3N4 наносилась на кремниевую подложку плазменно- химическим методом из газовой фазы. Затем имплантированные образцы отжигались в среде Ar в диапазоне температур 400‒800°С. Профили имплантированной примеси и элементов пленки определялись методом резерфордовского обратного рассеяния. Морфология поверхности образцов была исследована с помощью сканирующей зондовой микроскопии. Для идентификации полученных в процессе отжигов фаз использовалась фотолюминесценция.

ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНКИ НИТРИДА КРЕМНИЯ ПОСЛЕ Zn/ O ИМПЛАНТАЦИИ / В.В. Привезенцевa [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования .— 2026 .— №3 .— С. 58-64 .— URL: https://rucont.ru/efd/959723 (дата обращения: 14.08.2026)