НАНОИНДУСТРИЯ 16/5 (122)/2023
Научно-технический журнал
иВыпускается при содействии Министерства промышленности
индек торговли Российской Федерации. Журнал включен в Российский
с научного цитирования, в базу RSCI на платформе Web
of Science и в Перечень ВАК (с 18.03.2016)
Редакционный совет:
ЛАТЫШЕВ Александр Васильевич, д.ф.-м.н., академик РАН, директор
института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения
РАН, г. Новосибирск, Россия
ЛУКИЧЁВ Владимир Федорович, чл.-корр. РАН, д.ф.-м.н., директор
ФТИАН, Москва, Россия
САУРОВ Александр Николаевич, д.т.н., проф., академик РАН, директор
Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
СИГОВ Александр Сергеевич, д.ф.-м.н., проф., академик РАН, президент
Московского технологического университета (МИРЭА)
ЧАПЛЫГИН Юрий Александрович, д.т.н., проф., академик РАН, президент
Национального исследовательского университета "МИЭТ"
Редакционная коллегия:
СВЕТУХИН Вячеслав Викторович, д.ф.-м.н., член-корреспондент РАН,
проф., директор НПК "Технологический центр" (главный редактор журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ"), Москва, Россия
АЛЁШИН Алексей Николаевич, к.ф.-м.н., доц., зам. гл. редактора журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ", Москва, Россия
БАСАЕВ Александр Сергеевич, к.ф.-м.н., зам. директора ГНЦ РФ ГУ НПК
"Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
БУЛЯРСКИЙ Сергей Викторович, д.ф.-м.н., проф., чл.-корр. Академии
наук Республики Татарстан, проректор по научной работе Ульяновского
государственного университета, заведующий кафедрой инженерной
физики, г. Ульяновск
БЫКОВ Виктор Александрович, д.т.н., проф., генеральный директор
ЗАО "НТ-МДТ", Москва, Россия
ВЕРНИК Петр Аркадьевич, директор Института стратегий развития, Москва,
Россия
КАНЕВСКИЙ Владимир Михайлович, к.ф.-м.н., зам. директора Института
кристаллографии им. А.В.Шубникова РАН, Москва, Россия
ЛУЧИНИН Виктор Викторович , д.т.н., проф., директор Центра микроэлектроники
Минобразования РФ при СПбГТУ, Санкт-Петербург, Россия
МАЛЬЦЕВ Петр Павлович, д.т.н., проф., научный руководитель Института СВЧ
полупроводниковой электроники РАН, зам. председателя Экспертного совета ВАК,
Москва, Россия
ТЕЛЕЦ Виталий Арсеньевич, д.т.н., проф., директор института экстремальной
прикладной электроники НИЯУ МИФИ, Москва, Россия
ТИМОШЕНКОВ Сергей Петрович, д.т.н., проф., директор Института
нано- и микросистемной техники НИУ МИЭТ (Институт НМСТ, НИУ МИЭТ),
Зеленоград, Россия
ШЕЛЕПИН Николай Алексеевич, д.т. н., проф., руководитель научного
направления "Микроэлектроника" ИНМЭ РАН, Москва, Россия
ЯМИНСКИЙ Игорь Владимирович, д.ф.-м.н., проф., генеральный
директор ООО НПП "Центр перспективных технологий", Москва, Россия
Главный редактор: В.В.СВЕТУХИН
Зам. главного редактора: А.Н.АЛЁШИН
Корректор: А.В.ЛУЖКОВА
Отв.секретарь: Э.А.ГАЗИНА journal@electronics.ru
Дизайн и компьютерная верстка: А.С.БОДРОВ
248
256
266
272
282
288
298
306
310
Том 16 № 5 2023
СОДЕРЖАНИЕ
НанотехнологииАСМ-ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОПЛАТФОРМ ДЛЯ
ДОСТАВКИ БИОЛОГИЧЕСКИ АКТИВНЫХ СОЕДИНЕНИЙ
В РАСТЕНИЯ
А.И.Ахметова, И.В.Яминский, И.Ю.Ильина, Ю.Д.Александров,
В.Е.Тихомирова, Е.В.Попова
ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЛАЗЕРНЫХ МИШЕНЕЙ МЕТОДАМИ
ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ
А.И.Арефьев, В.Н.Горнов, Л.Е.Пешкичева, О.С.Юрченко, Л.Е.Гусс,
А.В.Савельев, А.П.Котов
СИСТЕМА НАНОПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ДЛЯ
ФИЗИЧЕСКОГО ЭКСПЕРИМЕНТА
Д.И.Яминский, И.В.Яминский
ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ИОННО-ЛУЧЕВОГО
НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИХ
ПОКРЫТИЙ ДЛЯ РЕЗОНАТОРОВ ИНЖЕКЦИОННЫХ
ЛАЗЕРОВ
А.В.Фомин, Е.М.Филоненко, Е.А.Анашкин
ПЛАТФОРМА ДЛЯ АКТИВНОЙ ВИБРОИЗОЛЯЦИИ
НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ
В.П.Михайлов, А.А.Копылов
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ВОССТАНОВЛЕНИЯ
НАНОЧАСТИЦ СЕЛЕНА
А.В.Блинов, А.А.Блинова, З.А.Рехман, А.А.Гвозденко, А.Б.Голик,
Д.Д.Филиппов, А.Г.Храмцов , М.А.Колодкин, Т.Н.Бахолдина
Наноматериалы
ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАВИСИМОСТИ НАКОПЛЕННОГО
ЗАРЯДА В МОП-ТРАНЗИСТОРЕ ОТ ЛИНЕЙНОЙ ПОТЕРИ
ЭНЕРГИИ ТЯЖЕЛЫХ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ
А.А.Глушко, М.Р.Гусев, В.В.Макарчук
Оборудование
для наноиндустрии
ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ РАБОТЫ
ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ С ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫМИ
ИСПАРИТЕЛЯМИ
В.В.Одиноков, М.Г.Бирюков
НАНОГОЛОГРАФИЧЕСКИЕ ДЛИНОМЕРЫ И ЛИНЕЙНЫЕ
ДАТЧИКИ
Б.Г.Турухано, Н.Турухано, С.Н.Ханов, В.В.Добырн, Ю.М.Лавров,
О.Г.Ермоленко
Стр.4
НАНОИНДУСТРИЯ 16/5 (122)/2023
Научно-технический журнал
Свежий номер журнала Вы можете приобрести:
Москва:
В редакции журнала "НАНОИНДУСТРИЯ"
ул. Краснопролетарская, д. 16, стр. 2
IN THE ISSUE
Санкт-Петербург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Невский пр-т, д. 44, 5-й этаж, офис 6,
т. (812) 325-7544, 117-6862, 110-4366,
root@zolshar.spb.ru
Екатеринбург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Народной воли, д. 25, т. (343) 212-1810, 212-1331,
ф. (343) 212-2314, zolshar@online.ural.ru, ekp@front.ru
Новосибирск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
пр-т К.Маркса, д. 57, офис 708,
т. (3832) 46-2473, ф. (3832) 27-6380, nbzsh@mail.ru
Минск:
Ижевск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ", пл. Казинца, д. 3,
офис 456, т. (10-375-172) 78-0914,
zolshar@integral.minsk.by
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Софьи Ковалевской, д. 4а, офис 4,
т. (3412) 42-5241, т./ф. (3412) 42-5472,
office@zolshar.izhnet.ru
Подписка
• АО "Почта России", индекс ПН759
• ООО "Урал-Пресс Округ"
• ООО "Руспресса"
• ООО "Агентство "Книга-Сервис"
• ООО "ГЛОБАЛПРЕСС"
• ООО "СЕРВИСПРЕСС"
• в редакции журнала по тел.: (495) 234-0110
• e-mail: magazine@technosphera.ru
Подписаться на электронную версию на сайтах:
www.nanoindustry.su, elibrary.ru, www.e.lanbook.ru
Foreign subscriptions are accepted
• by the Agency "Mezhdunarodnaya Kniga".
Phone: (007 495) 238-4967, Fax: (007 495) 238–4634
or by companies cooperating with Mezhkniga
248
256
266
272
282
288
• by the "Rospechat" agency catalogue "Russian
Newspapers & Magazines – 2005",
Phone: (007 495) 195-6677, 195-6418,
Fax: (007 495) 195-1431, 785-1470,
E-mail: ovs@rosp.ru, http://www.rosp.ru
Наши представители в Германии
REC Russland Experten Consulting GmbH
Olgastraße 82 89073 Ulm
T +(49) 731 145 344 94
M +(49) 151 156 820 18
n.wenzel@russland-experten.com
www.russland-experten.com
Группы научных специальностей,
по которым издание входит в Перечень ВАК
01.04.10. Физика полупроводников (технические науки)
1.3.16. Атомная и молекулярная физика (физико-математические
науки, технические науки)
2.2.3. Технология и оборудование для производства материалов
и приборов электронной техники (технические науки)
1.4.5. Хемоинформатика (химические науки, технические науки)
298
306
310
Том 16 № 5 2023
Nanotechnologies
AFM STUDY OF NANOPLATFORMS
FOR THE BIOLOGICALLY ACTIVE COMPOUNDS
DELIVERY TO PLANTS
A.I.Akhmetova, I.V.Yaminsky, I.Yu.Ilyina, Yu.D.Aleksandrov,
V.E.Tikhomirova, E.V.Popova
FABRICATION OF LASER TARGETS BY VACUUM COATING
A.I.Arefev, V.N.Gornov, L.E.Peshkicheva, O.S.Yurchenko,
L.E.Guss, A.V.Savelyev, A.P.Kotov
NANOPOSITIONING SYSTEM FOR PHYSICAL
EXPERIMENT
D.I.Yaminsky, I.V.Yaminsky
FEATURES OF THE ION-BEAM DEPOSITION
TECHNOLOGY OF MULTILAYER OPTICAL COATINGS
FOR INJECTION LASERS CAVITIES
A.V.Fomin, E.M.Filonenko, E.A.Anashkin
PLATFORM FOR ACTIVE VIBRATION ISOLATION
OF NANOTECHNOLOGICAL EQUIPMENT
V.P.Mikhailov, A.A.Kopylov
STUDY OF SELENIUM NANOPARTICLES
REDUCTION PROCESS
A.V.Blinov, A.A.Blinova, Z.A.Rekhman, A.A.Gvozdenko, A.B.Golik,
D.D.Filippov, A.G.Khramtsov , M.A.Kolodkin, T.N.Bakholdina
Nanomaterials
RESEARCH OF THE DEPENDENCE OF THE COLLECTED
CHARGE IN A MOS TRANSISTOR ON LINEAR ENERGY
TRANSFER OF HEAVY IONS
А.А.Glushko, М.R.Gusev, V.V.Makarchuk
Equipment for nanoindustry
STUDY OF EFFICIENCY OF VACUUM EQUIPMENT WITH
ELECTRON BEAM EVAPORATORS
V.V.Odinokov, M.G.Biryukov
NANOHOLOGRAPHIC LENGTH METERS
AND LINEAR ENCODERS
B.G.Turukhano, N.Turukhano, S.N.Khanov, V.V.Dobyrn,
Yu.M.Lavrov, O.G.Ermolenko
Стр.6