Экспериментальные методы физики твердого тела : учебное пособие (1700,00 руб.)

Стр.3

Стр.185

Стр.186

УДК 538.94 ББК 22.37я73 Ф76 Рекомендовано учебно-методическим советом университета Рецензенты: Барышников СВ., профессор кафедры физики и методики обучения физике БГПУ, д-рфиз. -мат. наук, профессор; Стуков а Е.В., зав. кафедрой физики АмТУ, в.не. НОЦАмГУ, канд. физ.-мат. наук, доцент Фомин , Д . В . Ф76 Экспериментальные методы физики твердого тела : учебное пособие / Д. В. Фомин. — Изд. 2-е, стер. — Москва ; Берлин : Директ-Медиа, 2019. — 186 с. ISBN 978-5-4499-0151-4 Учебное пособие подготовлено для бакалавров и магистров инженерно-физических направлений подготовки высшего просрессионального образования изучающих дисциплины «Экспериментальные методы физики твердого тела» и «Теоретические и экспериментальные методы физики твердого тела». Будет интересно аспирантам и молодым ученым естественнонаучного блока. Данное учебное пособие не претендует на энциклопедичность в рассматриваемой области знаний, поскольку в нем представлены экспериментальные методы физики твердого тела на основе приборной базы Амурского государственного университета. Тем не менее пособие охватывает большой спектр методов, построенных на использовании различных физических явлений. Таких как вторичная электронная эмиссия, дифракция, квантовые эффекты, взаимодействия поверхности с твердотельными нанозондами. В пособии достаточно подробно рассмотрены вопросы, касающиеся работы со сверхвысоковакуумными установками, имеются схемы in-situ экспериментов. УДК 538.94 ББК 22.37я73 ISBN 978-5-4499-0151-4 © Фомин А- В., текст, 2019 © Издательство «Директ-Медиа», оформление, 2019

Стр.3

СОДЕРЖАНИЕ Введение Глава 1. Условия проведения экспериментов Техника сверхвысокого вакуума СВВ системы откачки Сверхвысоковакуумные камеры и фланцы Приготовление атомарно-чистой поверхности Эпитаксия Техника термического осаждения в вакууме Источники напыления Измерители толщины пленок Экспериментальные методы физики твердого тела Глава 2. Методы исследования, построенные на явлении вторичной электронной эмиссии Дифференциальный энергетический спектр вторичных электронов Оже-электронная спектроскопия Регистрация оже-электронов Глубина выхода оже-электронов Оже-анализ Анализаторы энергии электронов Энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами Анализ с помощью СХПЭЭ Фотоэлектронная спектроскопия Экспериментальное оборудование ФЭС Анализ с помощью метода ФЭС Растровая электронная микроскопия Формирование электронного зонда Детекторы вторичных сигналов в РЭМ Взаимодействие электронного пучка с веществом Основные механизмы упругих и неупругих потерь энергии электронов в веществе Основные источники сигналов, используемых в РЭМ для формирования изображения Область взаимодействия электронов зонда с веществом 184 3 8 10 10 18 21 24 28 30 34 39 42 45 46 53 54 55 58 61 67 73 76 78 80 85 87 89 92 93 95 102

Стр.185

Основные механизмы формирования изображения в РЭМ Методы обработки видеосигнала в РЭМ Глава 3. Методы исследования, построенные на явлении дифракции Дифракция медленных электронов Интерпретация картин ДМЭ Дифракция быстрых электронов Аппаратура ДБЭ ДБЭ анализ Дифракция рентгеновских лучей Структурный анализ с помощью РД Глава 4. Методы сканирующей зондовой микроскопии Сканирующая туннельная микроскопия Атомно-силовая микроскопия Электросиловая и магнитно-силовая микроскопии Аппаратура СЗМ Глава 5. Методы исследования, построенные на квантовых эффектах Электронный парамагнитный резонанс Квантовомеханическая интерпретация ЭПР Классическая интерпретация ЭПР Устройство ЭПР спектрометров Основные характеристики спектров ЭПР Спектрометры электронного парамагнитного резонанса 105 109 114 115 118 128 129 131 134 137 140 142 149 157 163 165 165 166 170 173 176 181 Фомин Дмитрий Владимирович, директор научно-образовательного центра, доцент кафедры физики АмГУ, канд. физ-мат. наук 185

Стр.186