НАНОИНДУСТРИЯ 15/5 (115)/2022
Научно-технический журнал
иВыпускается при содействии Министерства промышленности
индек торговли Российской Федерации. Журнал включен в Российский
с научного цитирования, в базу RSCI на платформе Web
of Science и в Перечень ВАК (с 18.03.2016)
Редакционный совет:
ЛАТЫШЕВ Александр Васильевич, д.ф.-м.н., академик РАН, директор
института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения
РАН, г. Новосибирск, Россия
ЛУКИЧЁВ Владимир Федорович, чл.-корр. РАН, д.ф.-м.н., директор
ФТИАН, Москва, Россия
САУРОВ Александр Николаевич, д.т.н., проф., академик РАН, директор
Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
СИГОВ Александр Сергеевич, д.ф.-м.н., проф., академик РАН, президент
Московского технологического университета (МИРЭА)
ЧАПЛЫГИН Юрий Александрович, д.т.н., проф., академик РАН, президент
Национального исследовательского университета "МИЭТ"
Редакционная коллегия:
СВЕТУХИН Вячеслав Викторович, д.ф.-м.н., член-корреспондент РАН,
проф., директор НПК "Технологический центр" (главный редактор журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ"), Москва, Россия
АЛЁШИН Алексей Николаевич, к.ф.-м.н., доц., зам. гл. редактора журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ", Москва, Россия
БАСАЕВ Александр Сергеевич, к.ф.-м.н., зам. директора ГНЦ РФ ГУ НПК
"Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
БУЛЯРСКИЙ Сергей Викторович, д.ф.-м.н., проф., чл.-корр. Академии
наук Республики Татарстан, проректор по научной работе Ульяновского
государственного университета, заведующий кафедрой инженерной
физики, г. Ульяновск
БЫКОВ Виктор Александрович, д.т.н., проф., генеральный директор
ЗАО "НТ-МДТ", Москва, Россия
ВЕРНИК Петр Аркадьевич, директор Института стратегий развития, Москва,
Россия
КАНЕВСКИЙ Владимир Михайлович, к.ф.-м.н., зам. директора Института
кристаллографии им. А.В.Шубникова РАН, Москва, Россия
ЛУЧИНИН Виктор Викторович, д.т.н., проф., директор Центра микроэлектроники
Минобразования РФ при СПбГТУ, Санкт-Петербург, Россия
МАЛЬЦЕВ Петр Павлович, д.т.н., проф., научный руководитель Института СВЧ
полупроводниковой электроники РАН, зам. председателя Экспертного совета ВАК,
Москва, Россия
ТЕЛЕЦ Виталий Арсеньевич, д.т.н., проф., директор института экстремальной
прикладной электроники НИЯУ МИФИ, Москва, Россия
ТИМОШЕНКОВ Сергей Петрович, д.т.н., проф., директор Института
нано- и микросистемной техники НИУ МИЭТ (Институт НМСТ, НИУ МИЭТ),
Зеленоград, Россия
ШЕЛЕПИН Николай Алексеевич, д.т. н., проф., руководитель научного
направления "Микроэлектроника" ИНМЭ РАН, Москва, Россия
ЯМИНСКИЙ Игорь Владимирович, д.ф.-м.н., проф., генеральный
директор ООО НПП "Центр перспективных технологий", Москва, Россия
Главный редактор: В.В.СВЕТУХИН
Зам. главного редактора: А.Н.АЛЁШИН
Корректор: А.В.ЛУЖКОВА
Отв.секретарь: Э.А.ГАЗИНА journal@electronics.ru
Дизайн и компьютерная верстка: А.С.БОДРОВ
248
254
266
272
290
300
308
Том 15 № 5 2022
СОДЕРЖАНИЕ
Компетентное мнение
60 ЛЕТ НА ПЕРЕДОВЫХ РУБЕЖАХ РАЗВИТИЯ
ОТЕЧЕСТВЕННОГО СТО ДЛЯ РОССИЙСКОЙ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
М.Г.Бирюков
Нанотехнологии
КРИСТАЛЛООБРАЗОВАНИЕ В БАКТЕРИАЛЬНЫХ
КЛЕТКАХ BREVIBACILLUS LATEROSPORUS
М.В.Зубашева, А.И.Ахметова, Т.А.Смирнова,
Н.В.Шевлягина, Ю.А.Смирнов, В.Г.Жуховицкий,
И.В.Яминский
МАГНИТОДЕФОРМАЦИОННЫЙ ЭФФЕКТ
И ВАКУУМНОЕ УПЛОТНЕНИЕ С ПОМОЩЬЮ
МАГНИТОАКТИВНОГО ЭЛАСТОМЕРА
Г.В.Степанов, Е.Ю.Крамаренко, П.А.Стороженко
МЕТОД ПЕРЕНОРМИРОВКИ СЛУЧАЙНОЙ
ТРЕХКОМПОНЕНТНОЙ СИСТЕМЫ: ДИНАМИЧЕСКИЕ
ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭФФЕКТИВНОЙ ФУНКЦИИ
ВОСПРИИМЧИВОСТИ
О.П.Познанский
Наноматериалы
ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБИДА БОРА,
ОБОГАЩЕННОГО ИЗОТОПОМ 10
ТЕМПЕРАТУРАХ
А.Г.Колесников, Ю.А.Крюков, Н.В.Горбунов, А.Х.Абдуев,
А.Ш.Асваров, А.К.Ахмедов, С.А.Куликов, А.В.Чураков,
А.В.Шадрин
B, ПРИ НИЗКИХ
Оборудование
для наноиндустрии
РАЗРАБОТКА ВАКУУМНОГО ТРИБОМЕТРИЧЕСКОГО
СТЕНДА ДЛЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ
ИСПЫТАНИЙ И ИССЛЕДОВАНИЕ
ТВЕРДОСМАЗОЧНЫХ MoS2
А.И.Беликов, Л.Л.Колесник, О.Э.Алиханов, В.Е.Бражников
-ПОКРЫТИЙ
Контроль и измерения
ПОРТАТИВНАЯ ЯЧЕЙКА ДЛЯ КАЧЕСТВЕННОЙ ОЦЕНКИ
ПАРОПРОНИЦАЕМОСТИ ПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ
А.О.Роенко (Дудник), Г.А.Армеев, Е.С.Трофимчук,
И.В.Яминский
Стр.4
НАНОИНДУСТРИЯ 15/5 (115)/2022
Научно-технический журнал
Свежий номер журнала Вы можете приобрести:
Москва:
В редакции журнала "НАНОИНДУСТРИЯ"
ул. Краснопролетарская, д. 16, стр. 2
Санкт-Петербург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Невский пр-т, д. 44, 5-й этаж, офис 6,
т. (812) 325-7544, 117-6862, 110-4366,
root@zolshar.spb.ru
Екатеринбург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Народной воли, д. 25, т. (343) 212-1810, 212-1331,
ф. (343) 212-2314, zolshar@online.ural.ru, ekp@front.ru
Новосибирск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
пр-т К.Маркса, д. 57, офис 708,
т. (3832) 46-2473, ф. (3832) 27-6380, nbzsh@mail.ru
Минск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ", пл. Казинца, д. 3,
офис 456, т. (10-375-172) 78-0914,
zolshar@integral.minsk.by
Ижевск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Софьи Ковалевской, д. 4а, офис 4,
т. (3412) 42-5241, т./ф. (3412) 42-5472,
office@zolshar.izhnet.ru
Подписка
•
АО "Почта России", индекс ПН759
• ООО "Урал-Пресс Округ"
• ООО "Руспресса"
• ООО "Агентство "Книга-Сервис"
• ООО "ГЛОБАЛПРЕСС"
• ООО "СЕРВИСПРЕСС"
• в редакции журнала по тел.: (495) 234-0110
• e-mail: magazine@technosphera.ru
Подписаться на электронную версию на сайтах:
www.nanoindustry.su, elibrary.ru, www.e.lanbook.ru
Foreign subscriptions are accepted
• by the Agency "Mezhdunarodnaya Kniga".
Phone: (007 495) 238-4967, Fax: (007 495) 238–4634
or by companies cooperating with Mezhkniga
• by the "Rospechat" agency catalogue "Russian
Newspapers & Magazines – 2005",
Phone: (007 495) 195-6677, 195-6418,
Fax: (007 495) 195-1431, 785-1470,
E-mail: ovs@rosp.ru, http://www.rosp.ru
Наши представители в Германии
REC Russland Experten Consulting GmbH
Olgastraße 82 89073 Ulm
T +(49) 731 145 344 94
M +(49) 151 156 820 18
n.wenzel@russland-experten.com
www.russland-experten.com
308
Том 15 № 5 2022
266
272
290
300
248
254
Competent opinion
60 YEARS AT THE FRONTEND
OF THE DEVELOPMENT OF STE
FOR RUSSIAN MICROELECTRONICS
M.G.Biryukov
Nanotechnologies
CRYSTAL FORMATION IN BACTERIAL CELLS
OF BREVIBACILLUS LATEROSPORUS
M.V.Zubasheva, A.I.Akhmetova, Т.А.Smirnova,
N.V.Shevlyagina, Yu.A.Smirnov, V.G.Zhukhovitsky,
I.V.Yaminsky
MAGNETODEFORMATION EFFECT AND VACUUM
SEALING WITH A MAGNETOACTIVE ELASTOMER
G.V.Stepanov, E.Yu. Kramarenko, P.A.Storozhenko
METHOD OF RENORMALIZATION
OF THE RANDOM THREE-COMPONENT SYSTEM:
DYNAMIC CHARACTERISTICS OF THE EFFECTIVE
SUSCEPTIBILITY FUNCTION
O.P.Posnansky
Nanomaterials
LOW TEMPERATURE FORMATION OF BORON
CARBIDE THIN FILMS ENRICHED BORON ISOTOPE 10
A.G.Kolesnikov, Yu.A.Kryukov, N.V.Gorbunov,
A.Kh.Abduev, A.Sh.Asvarov, A.K.Akhmedov,
S.A.Kulikov, A.V.Churakov, A.V.Shadrin
B
IN THE ISSUE
Equipment for nanoindustry
DEVELOPMENT OF A VACUUM TRIBOMETRIC
STAND FOR HIGH-TEMPERATURE TESTING
AND RESEARCH OF SOLID-LUBRICATING MoS2
COATINGS
A.I.Belikov, L.L.Kolesnik, O.E.Alikhanov,
V.E.Brazhnikov
Control and measurements
PORTABLE CELL FOR QUALITATIVE ASSESSMENT
OF VAPOR PERMEABILITY OF FILM MATERIALS
A.O.Roenko (Dudnik), G.A.Armeev, E.S.Trofimchuk,
I.V.Yaminsky
Стр.6