8 26 апреля 08 Модель ограничения скорости роста углеродных нанотрубок на тонкопленочных катализаторах © С.В. Булярский 1,А.В.Лакалин 1,А.А.Павлов 2,А.А.Дудин 2, Е. <...> Кицюк2,Е.М. Еганова 2,А.П.Сиротина 2, А.А. Шаманаев 2 1 Ульяновский государственный университет, Ульяновск 2 Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва E-mail: bulyar2954@mail.ru Поступило в Редакцию 12 мая 2016 г. Экспериментально и теоретически показано, что замедление скорости роста углеродных нанотрубок на тонкопленочных катализаторах может быть обусловлено формированием интерметаллических соединений, которые затрудняют поступление углерода из объема. <...> В частности, при росте углеродных нанотрубок из системы тонких пленок Ti и Ni на поверхности капли катализатора формируется слой карбида титана. <...> Рассчитана кинетика роста нанотрубки в этом случае и определены кинетические коэффициенты, которые определяют скорость роста. <...> 2017.08.44528.16328 При определенных условиях рост углеродных нанотрубок (УНТ) замедляется вплоть до полной остановки [1–3]. <...> Это объясняется тем, что рост массива УНТ затрудняет проникновение углерода из газовой фазы реактора к катализатору, расположенному на подложке, из-за ограничения диффузионного потока [1,2]. <...> Если катализатор расположен на кремнии, то прекращение роста может быть связано с образованием силицидов [3]. <...> Однако последний механизм не может объяснить замед1∗ 3 4 6 С.В. Булярский, А.В. Лакалин. <...> Высота массива углеродных нанотрубок в зависимости от времени синтеза: точки — экспериментальные данные, сплошная линия — расчет. ление и остановку роста в случае, когда между катализатором и кремнием имеется буферный слой, препятствующий образованию силицидов. <...> Диффузия углерода к катализатору происходит беспрепятственно, если нанотрубки растут в виде пучков, что достигается разрежением массива. <...> Тем не менее и в этих случаях рост массива прекращается. <...> В данной работе исследуются причины замедления и остановки роста нанотрубок <...>