7 12 апреля 15 Фотоэмиссионная ячейка матричного приемника вакуумного ультрафиолетового излучения © Э. <...> А Ильичев,А.Е.Кулешов,Р.М. Набиев, Г.Н.Петрухин, Г.С. Рычков, Е.Г. Теверовская ¶ Национальный исследовательский университет ”Московский институт электронной техники“, Москва ¶ E-mail: mstlena2@mail.ru Поступило в Редакцию 6 декабря 2016 г. Рассматривается ”слепая“ к солнечному излучению фотоэмиссионная ячейка матричного приемника вакуумного ультрафиолета для диапазона длин волн 50−225 nm. <...> Ячейка представляет в кремниевой пластине полость в форме усеченной пирамиды, стенки которой покрыты поликристаллической алмазной пленкой, играющей роль фоточувствительного катода. <...> Конструкция ячейки позволяет организовать работу приемника ”на прострел“, т. е. фотоны падают на одну сторону пластины, а фотоэлектроны выходят с другой ее стороны. <...> Оценка фоточувствительности ячейки дает величину на уровне десятка фотонов. <...> 2017.07.44468.16596 Многоэлементные приемники вакуумного ультрафиолетового излучения (ВУФ) необходимы в астрофизике, медицине, микроэлектронике, биофизике и других областях науки и техники [1,2]. <...> Первые матричные УФ-приемники разработаны на основе фотокатодов и микроканальных пластин (МКП) для спутников [3]. <...> Их большим недостатком является чувствительность к солнечному излучению, к которому идеальные приемники ВУФ должны быть ”слепыми“ (Solar blind). <...> Алмазные детекторы привлекают внимание разработчиков электронной аппаратуры тем, что они как раз и обладают этим качеством. <...> Основным препятствием широкого использования монокристаллических и поликристаллических алмазных пленок является их еще недостаточное качество из-за присутствия большого количества посторонней примеси и дефектов кристаллической решетки. <...> На основе естественного и искусственного алмаза разработан ряд дискретных твердотельных приемников ВУФ [5,6], имеющих высокий внешний квантовый выход EQE, доходящий до 100 при длине волны 200 nm. <...> Однако в твердотельных <...>