Прикладная физика, 2017, № 2 ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ УДК 537.525.5 Особенности функционирования разрядной системы вакуумной дуги с катодом из чистого бора в импульсном режиме В. И. Гушенец, А. С. Бугаев, Е. М. Окс Проведены экспериментальные исследования импульсного вакуумного дугового разряда с катодом из чистого бора. <...> Поскольку в нормальных условиях бор имеет высокое удельное сопротивление (1,8Ч106 Ом см), инициирование дугового разряда требует нагрева катода до температур выше 600ч650 результаты, касающиеся зажигания дугового разряда с катодом из бора и обеспечения стабильности его горения, а также результаты измерения параметров разряда, оптического эмиссионного спектра и масс-зарядового состава дуговой плазмы. <...> Практически на 100 % плазма, сформированная разрядом, состоит из одно- и двухзарядных ионов бора, в соотношении 1:1. <...> Ключевые слова: вакуумный дуговой разряд, ионы бора, плазма вакуумной дуги, магнитный сепаратор, масс-зарядовый состав ионов плазмы. <...> Введение Вакуумный дуговой разряд с катодным пятном является эффективным генератором плотной плазмы, используемой в различных практических применениях. <...> Формирование покрытий с использованием вакуумного дугового разряда ограничивается в основном катодными материалами из металлов и некоторыми полупроводниковыми материалами с высокой проводимостью. <...> E-mail: gvi@opee.hcei.tsc.ru Статья поступила в редакцию 16 февраля 2017 г. © Гушенец В. И., Бугаев А. С., Окс Е. М., 2017 Бор обладает полупроводниковыми свойствами и в нормальных условиях имеет высокое удельное сопротивление (~1,8 МОм см), что не позволяет его использовать в вакуумно-дуговых разрядных системах в качестве катода без создания специальных условий. <...> Такой подход ранее был использован в планарном магнетроне, в котором в результате предварительного нагрева мишени (катода) из бора был реализован сильноточный импульсный режим горения разряда с самораспылением мишени и получена плазма с содержанием <...>