Нанометрология 539.25:537.533.35:620.187 Измерение высоты элементов нанорельефа поверхности методом тр¸хмерной реконструкции в растровом электронном микроскопе С. <...> Н.С. Курнакова РАН, Москва, Россия, е-mail: fgupnicpv@mail.ru Проведены сравнительные измерения высоты ступени нанорельефа поверхности кремниевой пластины методами тр¸хмерной реконструкции с помощью растрового электронного микроскопа и профилометрии. <...> Для реализации метода тр¸хмерной реконструкции на поверхности тестового образца сформирована островковая пл¸нка золота. <...> Профилометр AlphaStep D-600 откалиброван с помощью меры высоты ступени KTS-4500 QS. <...> Установлено совпадение результатов измерений методами тр¸хмерной реконструкции и профилометрии. <...> Проанализированы возможности уменьшения неопредел¸нности результатов измерений методом тр¸хмерной реконструкции. <...> The comparison measurements of step height of surface nanorelief of silicon plate as the test sample using methods of three-dimensional reconstruction in scanning electron microscope and surface profilometry were carried out. <...> The surface profiler AlphaStep D-600 was calibrated against the KTS-4500 QS step height standard. <...> The possibilities of decreasing the measurement uncertainty by 3D reconstruction method in scanning electron microscope were analyzed. <...> Key words: three-dimensional reconstruction, scanning electron microscope, relief structure, surface profiler. <...> Измерение высоты элементов нанорельефа является актуальной задачей. <...> В частности, такая задача возникает при калибровке ступенчатых мер высоты, используемых для калибровки атомно-силовых микроскопов и профилометров различных типов. <...> Определение размерных параметров указанных мер обычно производится методом компарирования с помощью референтных мер, откалиброванных независимым способом. <...> Для аттестации референтных мер чаще всего применяют зондовые системы, совмещ¸нные с лазерным интерферометром [1, 2]. <...> Такая схема позволяет достичь расширенной неопредел¸нности измерений (несколько нанометров) в субмикрометровом диапазоне значений высот ступеней и обеспечивает прослеживаемость результатов измерений. <...> Тем не менее для некоторых технологических приложений, прежде всего в электронной <...>