КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586:629.7 О ВЫБОРЕ ФИЗИЧЕСКИХ ПРИНЦИПОВ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ Д. В. <...> Лебедев Проведен сравнительный анализ емкостного и виброрезонансного методов измерения давления на основе современных микроэлектронных технологий конструкционных материалов. <...> Показано, что по совокупности преимуществ емкостный метод применительно к датчикам давления превосходит виброрезонансный, особенно по возможности работы в экстремальных эксплуатационных условиях. <...> Современные датчики строятся на основе самых разных принципов действия — как широко известных, так и сравнительно недавно освоенных. <...> Это объясняется тем, что датчики, основанные на традиционных принципах действия, благодаря внедрению достижений микроэлектронной технологии получают дальнейшее развитие вплоть до радикального улучшения технико-эксплуатационных характеристик. <...> Внедрение конструктивных решений и технологий МЭМС в датчиковую аппаратуру ограничило выбор физических принципов измерения, на которых они могут быть реализованы. <...> Сегодня наибольшие успехи достигнуты в построении датчиков пьезорезистивного, емкостного и виброрезонансного принципов действия. <...> В микромеханических линейных акселерометрах и гироскопах доминирует емкостный принцип. <...> В датчиках давления наибольшие успехи достигнуты по виброрезонансным принципам на основе кремния как конструкционного материала упругого чувствительного элемента (ЧЭ). <...> В публикациях [1, 2] описываются достоинства виброрезонансных датчиков давления на основе двойного виброрезонансного ЧЭ, отделенного от измеряемой среды мембраной малой жесткости и кремнийорганической жидкостью. <...> Среди характеристик датчика особенно поражает значение временной нестабильности, не превышающее 0,01 % за 15 лет эксплуатации. <...> Однако основная погрешность описываемых датчиков по ранее опубликованным данным составляет 0,04.0,075 %. <...> При описании достоинств виброрезонансных <...>