УДК 531.781.2.084.2 НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОПЛЕНОЧНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ Ю. А. <...> Зеленцов Рассмотрены проблемы изготовления металлопленочных датчиков давления, связанные с дефектностью структуры прутков из спецсплава типа 36НХТЮ. <...> Описано техническое решение, позволяющее уменьшить дефектность структуры металла в состоянии поставки путем холодного объемного прессования. <...> Основным конструктивным элементом металлопленочного датчика давления является упругий элемент (УЭ), на базовой поверхности которого методами тонкопленочной микроэлектроники формируется интегральная тензосхема, преобразующая давление, воздействующее на УЭ, в электрический сигнал. <...> Материалом УЭ являются прецизионные спецсплавы определенного химического состава [1] и с определенными упруго-механическими свойствами, характеризующиеся: — химической стойкостью в агрессивных средах; — хорошей полируемостью с обеспечением чистоты базовой поверхности УЭ не хуже 14 класса; — постоянством геометрических размеров после напыления диэлектрических и тензорезистивных пленок при температуре порядка 400 °C; — отсутствием выделения поглощенных газов при нанесении тонких пленок; — удовлетворительной свариваемостью. <...> Однако использование в настоящее время упомянутых спецсплавов для изготовления УЭ затруднено из-за низкого качества самих материалов. <...> Ранее для применения в датчиках давления производился особо высококачественный сплав 36НХТЮ-Ш (шлакового переплава) [2]. <...> Несмотря на то что в нормативной документации на этот сплав уровень дефектности не регламентировался, результаты входного контроля стабильно показывали на прутках диаметром до 40 мм размерность зерна по сечению 12.25 мкм. <...> Это позволяло обеспечить необходимое качество базовой поверхности УЭ после полировки для последующего нанесения тонкопленочных слоев. <...> В настоящее время серьезной проблемой при изготовлении УЭ является неудовлетворительное качество <...>