В. Ю. Кнеллеp УДК 621 382 ВОЗМОЖНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МДП-СЕНСОРОВ В КАЧЕСТВЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ГАЗОАНАЛИЗАТОРОВ И. Н. <...> Николаев, А. В. Литвинов, Е. В. Емелин Проанализированы характеристики разработанных авторами МДП-сенсоров с позиций возможности их применения в качестве чувствительных элементов газоанализаторов. <...> Показано, что на основе этих сенсоров можно создать новый класс портативных приборов-газоанализаторов, которые найдут применение в различных областях науки и техники, в частности, в экологии, геологии, геофизике, медицине, водородной энергетике, промышленности. <...> Отмечено, что первые шаги в этом направлении уже сделаны: созданы высокочувствительные газоанализаторы H2, H2S, NH3, NOx, Cl2 и этилмеркаптана. <...> ВВЕДЕНИЕ Измерительные приборы химического состава газообразных сред (газоанализаторы) широко применяются в современной науке и технике. <...> Основным элементом газоанализатора является сенсор (чувствительный элемент). <...> Сенсоры классифицируются согласно физико-химической природе процессов, происходящих в них под действием газов. <...> В соответствии с этим различают следующие типы сенсоров: электрохимические, резистивные, оптические, кондуктометрические, калориметрические, чувствительные к изменению массы, с барьером Шотки, на основе МДП-структур (металл—диэлектрик—полупроводник) [1]. <...> Наибольшее распространение получили электрохимические, оптические и резистивные сенсоры. <...> Среди перечисленных типов выделяются своей большой чувствительностью сенсоры на основе МДП-структур. <...> Это связано с тем, что в состав сенсора входит полупроводник (Si), т. е. материал, свойства которого чрезвычайно чувствительны к изменениям параметров окружающей среды и, в частности, к химическому составу газов. <...> Впервые о чувствительности МДП-структур типа Pd-SiO2-Si была сообщено в работе [2], которая привлекла большой интерес исследователей. <...> Вскоре была 66 Sensors & Systems · ¹ 5.2007 обнаружена чувствительность к H2S, NH3, NO и CO. <...> К настоящему <...>