ЗАКЛЮЧЕНИЕ Разработанная технология позволяет получать герметичные микромеханические устройства. <...> В результате проделанной работы, использования рассмотренных технологических процессов были изготовлены действующие макетные образТехнические характеристики микромеханического акселерометра Диапазон измеряемых ускорений, g 13 Спектральная плотность шума, g/Гц1/2 Дрейф нулевого сигнала, не более, g/ч Масштабный коэффициент, В/диапазон Нелинейность статической характеристики, % Тип преобразования* Габариты чувствительного элемента, мм Напряжение питания, В Энергопотребление, мВт Оси чувствительности связи. <...> Инерциальные датчики для систем навигации и ориентации // Микросистемная техника. <...> Сергей Петрович Тимошенков — д-р техн. наук, профессор, зав. кафедрой; E-mail: spt@miee.ru; timoshenkov@mail.ru Сергей Александрович Зотов — канд. техн. наук, ст. научн. сотрудник; Виктор Владимирович Калугин — канд. техн. наук, ст. научн. сотрудник; E-mail: viktor118@mail.ru (495) 532-99-62, 532-99-68 УДК 681.586'326 СИЛОВОСПРИНИМАЮЩИЙ ДАТЧИК-ШАЙБА Е. А. <...> Мокров, А. И. Тихонов, А. Л. Шамраков, О. Н. Герасимов На примере силовоспринимающего датчика-шайбы рассмотрен один из практически возможных вариантов использования поперечного тензоэффекта. <...> Известно, что существенные сдвиги в теории и практике датчикостроения могут иметь место только при использовании новых технических, конструктивных, технологических и других решений. <...> На наш взгляд, важным является использование в цепи преобразования силы не традиционного продольного тензоэффекта, а поперечного, что коренным образом изменяет привычные представления о тензорезисторных датчиках механических величин. <...> 26 Sensors & Systems · ¹ 12.2007 Структурная схема тракта преобразования, оставаясь в привычном начертании (рис. <...> 1), отражает важное конструктивное изменение: в ней преобразование силы F в относительную деформацию εl и преобразование относительной деформации в относительное изменение сопротивления εr осуществляется <...>