Общий вид вторичного преобразователя ОАО “Элемент” намическое давление, статическое давление, температуру, выполнять калибровку и дистанционное обновление встроенного программного обеспечения, получать сведения о настройках, считывать информацию с “черного ящика”. <...> Первый образец датчика, разработанного ОАО “Элемент” на базе g-нечувствительного преобразователя Kulite, прошел испытания на лабораторном стенде ГП НПКГ “Зоря” — “Машпроект” (г. Николаев) и в составе двигателя ДН70Л. <...> ОценУДК 621.797 ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК SnO2 ДЛЯ ДАТЧИКОВ ГАЗОВ1 Д. Ю. Куликов, С. И. Рембеза, В. А. Буслов, С. Ю. Жиронкин, Б. Л. Агапов Исследовано влияние режимов реактивного магнетронного распыления металлической оловянной мишени в атмосфере Ar + O2 на атомный состав и на величину адсорбционного отклика осажденной пленки с использованием промышленной установки О1НИ-7-006. <...> Определены условия изготовления пленок SnO2 для сенсорных элементов датчиков газов. <...> Область применения газовых датчиков различных типов определяется чувствительностью к детектируемому газу. <...> Высокая чувствительность к горючим и токсичным газам позволяет использовать резистивные газовые датчики на основе металлооксидных полупроводников в пожарных извещателях и детекторах утечки природного газа. <...> В качестве чувствительного слоя таких датчиков наибольшее применение получил диоксид олова. <...> Повышение газочувствительных свойств оксидов металлов возможно, в частности, при переходе к тонким пленкам с размерами зерна порядка нанометров. <...> Поэтому усилия исследователей направлены на разработку простой и воспроизводимой технологии изготовления тонких пленок диоксида олова для сенсорных элементов датчиков газов. <...> Среди способов изготовления тонких газочувствительных пленок диоксида олова, совместиДатчики и Системы · ¹ 10.2007 41 ка характеристик образца при испытаниях проводилась посредством сравнения с применяемыми <...>