Таким образом, предложенная методика расчета конструктивных параметров ВОПП впервые позволила определить геометрические размеры плоской пружины в зависимости от размеров и материала используемой сферической линзы и заданных ограничений по измеряемому ускорению. <...> Теоретические основы проектирования амплитудных волоконно-оптических датчиков давления с открытым оптическим каналом: Монография. <...> Теория, расчет и проектирование волоконно-оптических измерительных приборов и систем. <...> Вадим Сергеевич Волков — канд. техн. наук, ст. преподаватель; Вячеслав Дмитриевич Зуев — аспирант; (8412) 36-84-59 E-mail: slava-zuev@mail.ru Николай Петрович Кривулин — канд. техн. наук, доцент; E-mail: krivulin@bk.ru Татьяна Ивановна Мурашкина — д-р техн. наук, профессор; 8(412) 36-80-89 E-mail: mazer@diamond.pnzgu.ru УДК 621.797 ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SNO2(SB)1 Д. Ю. Куликов, С. И. Рембеза, В. А. Буслов, В. В. Асессоров, С. Ю. Жиронкин Тонкие пленки SnO2 (Sb—0,8 ат. %) для датчиков газов были синтезированы реактивным магнетронным распылением металлической оловянной мишени в газовой смеси Ar + O2 с использованием промышленной установки О1НИ-7-006. <...> В статье исследовано влияние концентрации кислорода в газовой смеси при распылении и толщины пленок SnO2(Sb) на их электрические и газочувствительные свойства. <...> 24 ки с сенсорным слоем из диоксида олова [1]. <...> Значительное улучшение газочувствительных свойств таких датчиков достигается применением тонкопленочных сенсорных слоев с размером зерна порядка нескольких десятков нанометров, сравнимым с областью пространственного заряда в кристаллах. <...> Это обусловлено тем, что процессы, определяющие изменение электрофизических Sensors & Systems · ¹ 6.2008 свойств оксидов при изменении состава окружающей среды, происходят на поверхности, а тонкопленочные слои имеют выгодное отношение поверхности к объему. <...> Наиболее перспективным способом изготовления тонких пленок диоксида <...>