531.78.084.2 О КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ СОВЕРШЕНСТВОВАНИИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЙ Е. А. <...> Мокров, Д. В. Лебедев, В. П. Базаев, Е. В. Ефремов, И. А. Семина, П. А. Колчин Рассмотрены вопросы повышения технического уровня тензорезисторных тонкопленочных датчиков давления типа Вт и ДАВ, широко используемых для отработки и штатной эксплуатации ракетной и авиационной техники, характеризующихся экстренными условиями эксплуатации. <...> Предложены оптимизация топологии датчиков, профилирование упругих элементов по ширине и толщине. <...> Особое внимание уделено повышению виброустойчивости датчиков, выбору конструкционных и функциональных материалов. <...> Отмечена перспективность тонкопленочных тензорезисторов на основе углеродных нанотрубок и фуллерена C60. <...> ВВЕДЕНИЕ В силу экстремальных эксплуатационных условий, характерных для жидкостных ракетных двигателей (ЖРД), авиамоторов, телеизмерения статико-динамических давлений на них осуществляются вот уже более 25 лет с помощью тензорезисторных тонкопленочных датчиков типа Вт и ДАВ, обладающих в сравнении с аналогами большей, но недостаточной вибро- и термоустойчивостью. <...> Совершенствование тензорезисторных тонкопленочных датчиков давлений проводится подбором наиболее перспективных конструкционных сплавов и функциональных диэлектрических материалов, оптимизацией топологии тензосхем и профилирования упругих чувствительных элементов (ЧЭ) балок и мембран датчиков. <...> Предлагаемый комплекс технических решений позволит существенно повысить метрологические и эксплуатационные характеристики тензорезисторных датчиков. <...> О КОНСТРУКЦИОННЫХ МАТЕРИАЛАХ ДЛЯ УПРУГИХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЙ Техническое совершенство датчиков давлений зависит от многих конструктивно-технологических и схемотехнических решений. <...> Однако основой всему надо признать качество конструкционного материала упругого элемента, его физикомеханические свойства <...>