В. Ю. Кнеллеp Рефераты МЭМС В АВТОМАТИЗАЦИИ Промышленная автоматизация постоянно ищет новые пути развития. <...> Потребность в разнообразии продуктов, в их специализации и дифференциации ставит преграды массовому производству компонентов. <...> Одна из таких технологий — микроэлектромеханические системы (МЭМС). <...> МЭМС воплощают в себе новейшую полупроводниковую технологию, охватывающую подвижные элементы и электронику в единой микросхеме. <...> Технологии создания интегральных схем, такие как КМОП (комплементарные металлооксидные полупроводники) и БиКМОП (биполярные КМОП-структуры — сочетание биполярных плоскостных транзисторов и технологии КМОП), объединяются в них с инновационной микрообработкой кремния. <...> Технологии изготовления МЭМС включают в себя такие процессы, как массовая микрообработка, в том числе частичное протравливание материала подложки или удаление подложки с применением химреагентов для создания структур, и микрообработка поверхностей, при которой материалы наносятся на подложку, образуя структуры. <...> Надежность, масштабируемость, чувствительность и относительная дешевизна МЭМС-технологии обеспечивают широкие возможности ее применения в промышленной автоматизации. <...> Среди МЭМС-датчиков наибольшее влияние на промышленную автоматизацию оказали датчики давления и инерциальные датчики, такие как акселерометры и гироскопы. <...> Например, датчики давления, полученные путем микрообработки кремния, используются в управлении технологическими процессами (ТП), при испытаниях автомобильной техники, контроле и мониторинге гидравлических и пневматических систем. <...> Такие датчики давления также широко применяются при мониторинге состояния холодильного оборудования, восстановлении хладагентов, управлении вентиляторами систем кондиционирования, измерении переменного объема воздуха, обнаружении утечек и сбросов давления и при решении многих других задач промышленной автоматизации. <...> Применение <...>