УДК 531.383 МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА РАСКАЧКИ В МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ГИРОСКОПАХ LL-ТИПА В. В. <...> Лихошерст, В. Я. Распопов Получена математическая модель процесса раскачки микромеханических гироскопов для основных вариантов нанесения металлизации на гребенчатые структуры привода. <...> Применение малогабаритных измерительных модулей на базе микромеханических датчиков в приборах и комплексах, осуществляющих измерение улов и угловых скоростей объектов, ограничивается в настоящее время только точностью самих микромеханических гироскопов (ММГ). <...> Повышение точности ММГ может быть осуществлено двумя путями: — более точным изготовлением микроструктур с применением новых или усовершенствованных технологических процессов и оборудования; — разработкой новых или улучшенных конструктивных схем, принципов управления и усилительно-преобразующих цепей. <...> Второй путь не требует замены или доработки дорогостоящего оборудования, а изменения, вносимые в конструкцию датчика, схем управления и обработки, могут быть промоделированы и исследованы при помощи компьютерных средств, что позволяет на начальном этапе разработки датчика обойтись без его изготовления и натурных испытаний. <...> Поэтому актуальным является создание полных и точных математических моделей, описывающих работу ММГ, и их программная реализация. <...> Наибольшее влияние на точность ММГ оказывает постоянство амплитуды и частоты колебаний инерционной массы в режиме движения, определяемое приводом, осуществляющим раскачку инерционной массы (ИМ). <...> Для раскачки ИМ чаще всего используется электростатический гребенчатый привод, причем варианты нанесения металлизации на элементы гребенчатых структур (рис. <...> Схема расположения обкладок и подачи напряжения (рис. <...> 1, а) состоит из двух независимых конденсаторов, на каждый из которых можно подавать напряжения различной амплитуды для создания силы, направленной перпендикулярно оси движения и позволяющей в ограниченных <...>