Образовательный цикл МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ1 УДК 621.3.049.779 Лекция 16 ДИНАМИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ И ИХ ЗАВИСИМОСТЬ ОТ СТАБИЛЬНОСТИ РЕЖИМОВ ДИНАМИЧЕСКОЙ НАСТРОЙКИ В. Я. <...> Распопов ВВЕДЕНИЕ Основные динамические характеристики микромеханических гироскопов (МГ), включая масштабный коэффициент, чувствительность и полосу пропускания, зависят от соотношений частот колебаний инерционной массы в режимах движения (РД) и чувствительности (РЧ), которые могут быть либо равны между собой (резонансный случай), либо различаться на величину так называемой расстройки частот (см. лекцию 15). <...> Динамические характеристики МГ и их зависимость от стабильности режимов динамической настройки рассмотрим на примерах типовых схем МГ LL- и RR-типа (см. лекцию 14). <...> 1, а) содержит инерционную массу m, которая с помощью упругих элементов подвеса (торсионов) 1 и 2 смонтирована в корпусе на четырех площадках крепления 3, которые также называют анкерами. <...> Инерционная масса в РД совершает колебательное движение со скоростью v в направлении оси x. <...> При появлении переносной угловой скорости Ωz под действием сил Кориолиса инерционная масса совершает колебательное движение в направлении оси y (РЧ). <...> 1, б) содержит инерционную массу в форме дискового ротора P, смонтированного в корпусе на торсионах 1, 2 посредством анкера 3. <...> В РД колебательное движение ротора в его плоскости по координате γ осуществляется емкостными статорными и роторными гребенчатыми структурами двигателей Д. <...> При появлении переносной угловой скорости относительно оси x под действием моментов сил Кори1 Окончание. <...> Уравнения движения, учитывающие основные силы и моменты в системе “инерционная масса—упругий подвес”, имеют следующий вид [1]: для МГ LL-типа (рис. <...> 1, б) = Jγγ ·· bγγ· Gγγ++ M0 = pt Jαα ·· bαα· Gαα++ Jγγ·Ωy; = Jββ ·· bββ· Gββ++ Jγγ·Ωx, = sin(); = – pt sin(); (1) (2) где m — масса поступательно перемещающихся элементов; Jα, Jβ, Jγ — моменты инерции <...>