УДК 531.383 ВЛИЯНИЕ ТРЕХКОМПОНЕНТНОЙ ВИБРАЦИИ НА ОСЕВОЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР В. Я. <...> Распопов, В. В. Турчанинов, Ю. В. Иванов Рассмотрены причины смещения нуля осевого микромеханического акселерометра при воздействии трехкомпонентной вибрации. <...> Приведены результаты моделирования в среде Matlab и анализ зависимости смещения нуля от конструктивных параметров акселерометра. <...> Ключевые слова: осевой микромеханический акселерометр, вибрационный сдвиг нуля акселерометра. <...> Осевые микромеханические акселерометры (ОМА) широко применяются как в изделиях широкого потребления, так и в промышленной и военной продукции. <...> Эксперимент показал, что при воздействии трехкомпонентной вибрации на ОМА возникает смещение нуля полезного сигнала. <...> Осевой акселерометр 1 c чувствительным элементом 2 размещен на платформе вибростенда 3 так, что его ось чувствительности y располагается горизонтально. <...> Вибрация стенда задается в направлении осей x, y и z. <...> Выходной сигнал акселерометра содержит вибрационную составляющую и пропорциональную вибUy ·· в рационному сдвигу нуля составляющую Uсд, для выделения которой использован фильтр нижних частот. <...> Зависимость смещения нуля осевого микромеханического акселерометра от амплитуды трехкомпонентной вибрации приведена на рис. <...> 2, где графики 1 и 2 — линейные ускорения вибрации по осям x и z соответственно; график 3 — отфильтрованный выходной сигнал акселерометра. <...> Эксперименты показывают, что при малых амплитудах горизонтальной вибрации и в сравнении с x ·· амплитудой вертикальной вибрации смещение нуля ОМА не наблюдается. <...> При увеличении амплитуды горизонтальной вибрации до уровня вертикальной, как видно из рис. <...> 2, возникает заметное смещение выходного сигнала акселерометра. z ·· Для объяснения полученных результатов использована математическая модель осевого акселерометра [1]. <...> Конструктивная схема чувствительного элемента (ЧЭ) ОМА представлена на рис. <...> 3, а системы координат <...>