531.787.084.2:629.735 ПРОБЛЕМЫ И ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ Е. М. <...> Белозубов, В. А. Васильев, Н. В. Громков Рассмотрены проблемы, возникающие при эксплуатации датчиков давления в ракетной и авиационной технике. <...> Показана роль и место тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления (ТТДД), основой которых являются тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы. <...> Показана значимость решения задачи повышения точностных и эксплуатационных характеристик датчиков и преобразователей до мирового уровня и выше, указаны пути ее решения. <...> Определены основные направления исследований ТТДД, позволяющие создать датчики, устойчивые к воздействию нестационарных температур и повышенных виброускорений. <...> Ключевые слова: тензорезисторные датчики давления, тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы, ракетная и авиационная техника, виброускорение. <...> В мире для производства датчиков давления широкое распространение получили технологии изготовления: пьезорезистивная технология, тонкопленочная технология на керамике, Poli-Silicon-тонкопленочная технология на стали, NiCr-тонкопленочная технология на стали [1—4] Наилучшей с точки зрения долговременной стабильности является NiCr-тонкопленочная технология на стали. <...> По данным фирмы Trafag при использовании этой технологии датчики давления практически не имеют дрейфа в течение 12 мес. испытаний при температуре 90 °C, тогда как дрейф нуля у тонкопленочной технологии на керамике в течение 12 мес. составляет 0,25 %, у полисиликоновой технологии в течение 8 мес. <...> Именно поэтому там, где требуются высокоточные и высокостабильные измерения, а именно, в ракетной и авиационной технике, используют датчики давления, созданные с применением NiCr-тонкопленочной технологии на стали. <...> Совершенно не случайно наибольшее число выпускаемых высокоточных и высокостабильных датчиков давления специального <...>