КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586 КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ЦИФРОВОГО МОС-ДАТЧИКА ПЕРЕМЕЩЕНИЯ М. В. <...> Степанов, С. А. Матюнин, В. Д. Паранин Рассмотрены конструкторско-технологические особенности построения цифрового МОС-датчика перемещения и технология изготовления кодирующей маски. <...> Ключевые слова: цифровой датчик перемещения, многокомпонентная оптронная структура, технология изготовления, выбор материалов. <...> Применение волоконно-оптических датчиков позволяет строить системы, устойчивые к влиянию внешних дестабилизирующих факторов. <...> Одним из эффективных способов построения таких датчиков являются датчики перемещения на основе многокомпонентных оптических структур (МОС-датчики). <...> Цифровой МОС-датчик [1] состоит из оптического блока и блока электроники. <...> Оптический блок содержит оптический узел, кодовую маску и волоконно-оптический кабель (рис. <...> Оптический узел включает в себя делитель оптического сигнала передающего волокна по числу разрядов, сумматор оптических сигналов от приемных волокон, граданы. <...> Кодирующая маска представляет собой двоичную матрицу (например, в виде кода Грея), каждый разряд которой реализуется дорожкой с чередующимися ячейками в виде отражающих дифракционных решеток с разным периодом. <...> Световой поток от источника излучения вводится в передающие волокна волоконно-оптического кабеля и далее падает на кодовую маску (рис. <...> Световой поток, отражаясь от кодовой маски, попадает на два приемных волокна, реализующих дифференциальную схему. <...> Величина перемещения определяется кодовой комбинацией сигналов с разрядных дорожек. <...> Компоновка оптического блока цифрового МОС-датчика перемещения: 1 — вал; 2 — кодовая маска; 3 — оптический узел; 4 — волоконно-оптический кабель 1 1 В Nд Θ 3 Рис. <...> Структурная схема оптического блока цифрового МОС-датчика перемещения: 1 — приемные волокна; 2 — передающее волокно; 3 — кодовая маска Датчики <...>