Солодимов Рассмотрены методы преобразования низкого давления в электрический сигнал. <...> Предложен способ построения датчика вакуума, сочетающий в себе тепловой и ионизационный методы преобразования. <...> В корпус датчика встроены элементы вторичной цепи, позволяющие производить преобразование аналогового сигнала в цифровой код, линеаризацию функции преобразования, а также автоматическую компенсацию погрешности. <...> Ключевые слова: методы измерения вакуума, датчик низкого давления, электронный блок. <...> Развитие микроэлектроники и появление нанотехнологий ужесточают требования к составу и степени разрежения остаточных газов, так как характеристики рабочей среды в вакуумных камерах технологического оборудования оказывают определяющее влияние на качество получаемых изделий. <...> В технике под вакуумом понимают состояние разреженного газа, при котором его давление ниже атмосферного. <...> Приборы, предназначенные для измерения давления разреженного газа, принято называть вакуумметрами. <...> Вакуумметры состоят, как правило, из датчика вакуума и измерительного электронного блока. <...> Датчик вакуума представляет собой устройство, вакуумно-плотно присоединяемое к вакуумной камере, которое преобразует измеряемое давление в электрический сигнал. <...> В функции измерительного электронного блока входит обеспечение необходимых электрических режимов работы датчика, а также измерение и обработка выходных сигналов. <...> Для построения датчиков вакуума используют различные методы преобразования давления в электрический сигнал. <...> Выбор метода построения датчика зависит от степени разрежения газа, которую принято характеризовать числом Кнудсена Kn [1], т. е. отношением между числом столкновений молекул газа со стенками камеры и числом взаимных столкновений молекул: Kn = = λ L --- 42πσ2PV ----------------------------kbTS , где λ — средняя длина свободного пробега молекул в газе; L — характерный размер камеры; kb — постоянная Больцмана; T — абсолютная <...>