Новости NIST СОВЕРШАЕТ ПРОРЫВ В ОБЛАСТИ ГАЗОНАНАЛИЗАТОРОВ Исследователи из Национального института стандартов и технологии США (NIST, www.nist.gov) разработали новую методику калибровки, которая позволит повысить надежность и стабильность одной из наиболее универсальных технологий NIST — microhotplate (микронагревательный элемент, МНЭ). <...> Новое устройство создается в качестве основы для высокоточных миниатюрных газовых датчиков, которые, по утверждению NIST, смогут улавливать присутствие химических и биологических агентов, промышленные утечки, а с борта космических зондов — даже признаки внеземной жизни. <...> В NIST степень термического влияния МНЭ в сочетании с термопарой используют для формирования само поверяемой системы, восприятия температуры. <...> Крошечные МНЭ — не толще человеческого волоса — программируют для работы в определенном температурном диапазоне. <...> Их можно покрыть металлооксидными пленками, подогнанными специально для обнаружения определенных видов газа. <...> Молекулы газа в воздухе прилипают к поверхности детектора в зависимости от типа пленки и температуры поверхности, в результате чего изменяется проходящий через устройство электрический ток; это изменение служит своего рода “подписью”, позволяющей идентифицировать вид газа и его концентрацию в окружающем воздухе. <...> Для выделения вида и количественной оценки образцов газа критически необходимы точные измерения температуры МНЭ, а для его надежной работы в течение длительного времени требуется либо высокая стабильность расположенных на нем температурных датчиков, либо их возможность правильно воспринимать температуру при наличии дрейфа, именуемая “встроенным самотестированием” (built-in self test — BIST). <...> Как показано впервые (Afridi M., Montgomery C., CooperBalis E., et al. <...> Analog BIST functionality for microhotplate temperature sensors // IEEE Electron Devices, 2009. <...> 30, N 9), новый метод калибровки удовлетворяет обоим требованиям. <...> Часть поликремниевого нагревателя, образующего МНЭ, изначально служила в качестве <...>