УДК 621.3.049.772.1 ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА НА ОСНОВЕ МАТРИЦЫ СИНТЕТИЧЕСКОГО ОПАЛА К. Н. <...> Беседина, Е. В. Булыгина, С. А. Сидорова Приведены результаты исследования топологии тонких пленок, сформированных на подложках из синтетического опала. <...> Представлена технология изготовления газочувствительного элемента на основе опаловых матриц. <...> Интерес к структурам, полученным осаждением тонких наноструктурированных пленок на поверхность опаловых матриц, вызван уникальностью свойств синтетического опала, представляющего собой правильные кубические упаковки наносфер SiO2, и практически неограниТехнология изготовления газочувствительного элемента на основе опала Выращивание опала Технология изготовления газочувствительного элемента на основе ситалла Выращивание монокристалла Резка на пластины Подготовка подложки к нанесению олова Нанесение пленки Sn(SnO) методом магнетронного распыления Отжиг при температуре 600 °С (Операция отсутствует) Формирование — поверхности Нанесение пленки алюминия методом магнетронного распыления Подготовка к фотолитографии Фотолитография Контроль Рис. <...> Технологии формирования резистивного газочувствительного элемента традиционным способом и с использованием опаловой матрицы в качестве рельефообразующей подложки ченной номенклатурой материалов тонких пленок с диапазоном толщин отдельных слоев и многослойных структур (от десятков ангстрем до единиц микрометров), а также другими достоинствами технологии получения тонких пленок [1]. <...> Экспериментальные исследования газочувствительности тонких пленок диоксида олова, осажденных на поверхность синтетического опала, показали [2], что одной из областей применения таких структур могут быть чувствительные элементы тонкопленочных резистивных газовых сенсоров, в которых опаловая матрица может служить рельефообразующей подложкой. <...> Процесс изготовления такого элемента более технологичен <...>