УДК 621.793.74.621.9.015.008.6 ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ДАТЧИК КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В. Л. <...> Шатохин, В. А. Попов Статья посвящена проблеме диагностики качества покрытий, тонких пленок в системах плазменного распыления вещества. <...> Приведены результаты исследований на макете газоразрядного датчика для регистрации токов послеразрядной (экзоэлектронной) эмиссии, которая может быть использована в качестве индикатора чистоты обрабатываемой поверхности в плазменных технологических процессах. <...> Ключевые слова: плазменные распылительные системы; газовый разряд; вторично-эмиссионные процессы; экзоэлектронная эмиссия. <...> Ионно-плазменное нанесение покрытий основано на распылении вещества мишени-катода ускоренными ионами, образованными в низкотемпературной газоразрядной плазме. <...> Распыленные частицы вещества осаждаются на приемной поверхности, формируя пленку материала. <...> Качество и свойство создаваемых покрытий в плазменных установках зависят от многих факторов, в том числе от рабочих режимов и взаимодействия вещества покрытий с окружающей средой в процессе конденсации слоев на поверхность подложки. <...> Этому способствуют и чистота рабочих условий, и беспрепятственный перенос вещества в камерах вакуумных технологических установок. <...> Конечные свойства обрабатываемых поверхностей особенно зависят от их чистоты, отсутствия на поверхности и в приповерхностном слое инородных примесей. <...> В системах ионно-плазменной обработки материалов воздействию газоразрядной плазмы подвержены любые технологические поверхности. <...> Это воздействие сопровождается протеканием ряда вторично-эмиссионных процессов, по составу и 42 интенсивности протекания которых возможно анализировать состояние обрабатываемой поверхности. <...> Однако наиболее остро стоит вопрос контроля состояния поверхности без нарушения цикла обработки, т. е. проведение диагностики поверхности непосредственно в рабочей камере установки <...>