E-mail: aisher@spels.ru УДК 543.27.621.3.049.77 ЭЛЕМЕНТЫ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ НА ОСНОВЕ МИКРОТЕХНОЛОГИЙ Ю. А. <...> Воронов, А. В. Коваленко, М. Ю. Никифорова, Б. И. Подлепецкий, Н. Н. Самотаев, А. А. Васильев Представлены конструктивно-технологические, метрологические и эксплуатационные характеристики чувствительных элементов газоаналитических датчиков, изготовленных с применением микротехнологий: стандартных для n-МОП и КМДП интегральных микросхем, MЭMС-технологий и нано-на-микротехнологий. <...> Рассмотрены интегральные датчики водорода на основе МДП-транзисторных чувствительных элементов со структурами Pd(Pt)-SiO2-Si и Pd(Pt)-Ta2O5-SiO2-Si; металл-оксидные пленочные элементы с импульсным нагревом и повышенной чувствительностью к аммиаку; МЭМС-элементы с газочувствительными наноструктурными пленками, легированными Pd(Pt); МЭМС-“платформы” на основе пленок SiO2-Si3N4 для газочувствительных датчиков. <...> Ключевые слова: чувствительные элементы газоаналитических датчиков, МДП-структуры, микротехнологии МДП ИМС, нано-на-микро- и MЭMС-технологии. <...> Такие средства необходимы для решения важных научно-технических и социальных задач: обеспечения взрыво- и пожаробезопасности различных объектов, экологического контроля состояния окружающей среды, обнаружения наркотических и взрывоопасных веществ. <...> Для решения этой проблемы перспективным представляется разработка интегральных датчиков и микроприборов с чувствительными элементами (ЧЭ), изготовленными на основе микротехнологий. <...> Однако на фоне быстрого внедрения новых технологий в производство интегральных микросхем наблюдаются весьма замедленные действия в направлении использования микротехнологий в разработках газочувствительных датчиков. <...> Одной из причин такого по28 Sensors & Systems · ¹ 3.2010 ложения являются повышенные требования к прецизионности элементов интегральных датчиков, что приводит к необходимости решать вопросы технологической, тепловой и электромагнитной совместимости <...>