Мембрана с консолью, залитая во фторопластовой ванночке озокеритом, помещалась в термостатированную емкость с травителем кварца и подвергалась травлению при температуре 60 ± 3 °C в течение 5 ч. <...> За это время сформированные в металлической защите на внешней поверхности консоли щели, не залитые озокеритом, были протравлены на всю толщину консоли (200 мкм). <...> 6 показана консоль с протравленными щелями после смыва озокерита. <...> Визуальный анализ поверхности мембраны и консоли под микроскопом показал, что каналы травления в них отсутствуют. <...> Для получения на консоли с протравленными щелями тензочувствительного резонатора остается нанести на поверхность сформированного микрокамертона электродное покрытие хром-золото и провести вторую объемную фотолитографию для формирования электродов. <...> Новые технологические возможности как инструмент создания нового поколения кварцевых резонансных сенсоров давления // Датчики и системы. <...> Резонансный сенсор давления, усилия или перемещения и способ его изготовления. <...> Поляков Александр Владимирович — нач. отдела, ООО “СКТБ ЭлПА”; Красильникова Ольга Константиновна, канд. хим. наук, вед. научн. сотрудник НИХФЭ АН РФ. <...> УДК 681.586.773:621.039.553 РАДИАЦИОННАЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ ПЬЕЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН А. В. <...> Согоян, Д. В. Бойченко Представлены результаты экспериментального исследования радиационной чувствительности пьезопреобразователей механических величин на основе титаната-цирконата свинца. <...> Рассмотрены модельные представления, позволяющие объяснить основные наблюдаемые особенности реакции пьезопреобразователей при воздействии стационарного и импульсного ионизирующего излучения. <...> Современные тактико-технические требования, предъявляемые к микросистемам специального назначения, определяют их эксплуатацию в условиях воздействия ионизирующих излучений (ИИ). <...> При этом одними из наиболее уязвимых элементов современных электронных систем являются <...>