586'326 НОВЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ВОЗМОЖНОСТИ КАК ИНСТРУМЕНТ СОЗДАНИЯ НОВОГО ПОКОЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАНСНЫХ СЕНСОРОВ ДАВЛЕНИЯ1 В. Н. Симонов Проанализированы проблемы, связанные с задачей создания нового поколения прецизионных кварцевых резонансных сенсоров давления. <...> Показано, что основным источником погрешности сенсоров являются механические напряжения в стеклоспаях. <...> На основе полученных результатов приведены возможные пути снижения этого влияния с использованием новых современных технологий: механической обработки, микромашинных методов и их комбинированного использования. <...> Ключевые слова: сенсоры, кварц кристаллический, резонаторы, давление, стеклоспай, механические напряжения, микромашинные методы, химическое травление, плазмохимическое травление. <...> Выпускаемые в настоящее время отечественные кварцевые резонансные датчики давления обладают точностью на уровне (0,05—0,1) % в широком диапазоне давлений и температур [1]. <...> Такая точность обусловлена в основном низкой величиной гистерезиса и невоспроизводимости рабочей и температурной характеристик сенсора, составляющей величину на уровне (0,02—0,03) %. <...> Приводимый ниже анализ показывает, что в конструкции и технологии сенсоров этих датчиков имеются значительные резервы повышения точности. <...> В данной работе рассмотрена возможность создания нового поколения прецизионных пьезорезонансных сенсоров малых и средних давлений. <...> Рассмотрим конструкцию планарного кварцевого пьезорезонансного сенсора давления, разработанного в 1980—1990-е годы (рис. <...> Сенсор содержит кварцевую мембрану 1, в центре которой легкоплавким стеклом закреплен кварцевый тензочувствительный резонатор 2; кварцевую кольцевую проставку 3 и кварцевую крыш1 Работа выполнена в рамках гранта Российского Фонда фундаментальных исследований. <...> Конструкция сенсора (а) и тензочувствительного микрокамертонного резонатора (б) ку 4. <...> Деформация мембраны создает усилия растяжения-сжатия <...>