УДК 681.586'33:546.11 ВЛИЯНИЕ ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ ВОДОРОДА С МДП-ТРАНЗИСТОРНЫМИ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫМИ ЭЛЕМЕНТАМИ Б. И. <...> Подлепецкий Представлены экспериментальные данные и результаты моделирования влияния ионизирующего излучения на основные метрологические и эксплуатационные характеристики интегральных датчиков водорода на основе МДП-транзисторных чувствительных элементов с различными схемными конфигурациями. <...> Ключевые слова: ионизирующее излучение, датчик водорода, МДП-транзисторный чувствительный элемент, метрологические и эксплуатационные характеристики. <...> ВВЕДЕНИЕ Датчики, приборы и системы, обеспечивающие взрыво- и пожаробезопасность на атомных реакторах, в самолетах с водородными двигателями, на космических аппаратах и в шахтах горнорудной промышленности работают, как правило, в условиях повышенного уровня радиации. <...> При длительном использовании таких средств измерения и контроля радиационно стимулированная деградация параметров их электронных элементов может привести к существенным изменениям характеристик приборов или к полной потери их функциональной работоспособности. <...> Поэтому исследование влияния радиации на характеристики датчиков водородсодержащих газов представляется актуальной научно-технической задачей. <...> В данной статье исследуется влияние ионизирующего излучения на метрологические и эксплуатационные характеристики интегральных датчиков водорода на основе МДП-транзисторных чувствительных элементов. <...> ИСХОДНЫЕ ДАННЫЕ Исследовались n-канальные МДП-транзисторные чувствительные элементы (ТЧЭ) со структурой Pd—Ta2O5—SiO2—Si, входящие в состав интегральной базовой ячейки ИДВ-3, топология и технология изготовления которой подробно описаны в работах [1, 2]. <...> ТЧЭ имеет следующие конструктивно-технологические характеристики: концентрация примесей в подложке Na = 5•1015 см–3, длина и ширина канала L = 10 мкм и z = 3,2 мм, толщина палладиевой <...>