КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586.728 К содержанию ПРИМЕНЕНИЕ ДАТЧИКОВ ТОКА НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА ХОЛЛА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С. В. <...> Тимаков, А. В. Блинов Проведен анализ условий работы датчиков тока в технологическом оборудовании. <...> Рассмотрены особенности контроля тока в установках вакуумного терморезистивного напыления и магнетронного распыления. <...> При проведении процессов нанесения покрытий в вакууме необходимо контролировать параметры технологических режимов, в частности, значения протекающих токов. <...> Диапазон значений этих токов изменяется от единиц ампер в процессах магнетронного распыления до сотен ампер в процессах терморезистивного испарения. <...> Например, в установке вакуумного напыления УВН-71П-3 применен трансформатор тока на 500 А и амперметр с ценой деления 20 А. <...> Применение процессорной техники для контроля технологическиих режимов в существующем оборудовании требует использования датчиков тока с гальванической развязкой, так как в случае магнетронного распыления используется высокое (до 1000 В) рабочее напряжение, в случае терморезистивного испарения — переменное напряжение с высокой (до 1000 А) амплитудой тока. <...> При выборе датчиков тока основными требованиями явились совместимость по амплитуде выходного сигнала с микропроцессором, управляющим технологическими режимами, линейность преобразования, а также и их доступность для широкого использования благодаря привлекательности цены и массовости выпуска. <...> Рассмотрим общую схему устройства управления током резистивного испарителя, представленную на рис. <...> К сети через управляемый тиристорный ключ подключен понижающий трансформатор, к вторичной обмотке которого подключена нагрузка последовательно с датчиком тока. <...> Понижающий трансформатор мощностью 2 кВт при подаче на него напряжения с действующим значением 220 В выдает на вторичной обмотке напряжение 4 В. <...> В качестве <...>