Бушев, В. М. Стучебников Рассмотрены микроэлектронные датчики давления на основе структур “кремний на сапфире”, выпускаемые ПГ МИДА. <...> Ключевые слова: микроэлектронные датчики давления, зона температурной погрешности, температурная устойчивость. <...> Первое предприятие Промышленной группы “Микроэлектронные датчики” (ПГ МИДА) возникло в начале 1991 года на развалинах последнего крупного проекта Минприбора СССР — Ульяновского центра микроэлектроники и автоматизации в машиностроении. <...> Сначала это было советско-германское совместное предприятие, которое после ряда преобразований превратилось в ЗАО “Микроэлектронные датчики и устройства” (ЗАО МИДАУС). <...> С самого начала перед предприятием были поставлены следующие задачи: — одновременная разработка и серийное производство приборов, имеющих спрос на внутреннем и международном рынках; — основа приборов измерения давления — оригинальные отечественные исследования и разработки тензорезисторных преобразователей (ТП) давления на основе структур “кремний на сапфире” (КНС) [1]; — максимальное сокращение габаритов и массы приборов измерения давления; — разработка и производство сопутствующих электронных приборов. <...> В ПГ МИДА сегодня разрабатываются и выпускаются приборы для измерения давления трех типов, которые по сложившейся в промышленной группе классификации делятся следующим образом: — датчики давления — конструктивно законченные изделия с электронным блоком и унифицированным выходным сигналом, метрологические характеристики которых определяются в 2 Sensors & Systems · ¹ 5.2011 соответствии с ГОСТ 22520 [2] через основную и дополнительные (в основном температурную) погрешности; — преобразователи давления — конструктивно законченные изделия без активной электроники с пассивной схемой температурной компенсации и с нормированным выходным сигналом, характеризующиеся точностью (суммарной нелинейностью, вариацией и повторяемостью) и дополнительной <...>