Юрий Александрович Бурцев — канд. техн. наук, вед. научн. сотрудник, 8 916-656-54-96 E-mail: burtsev05@mail.ru Владимир Дмитриевич Кузнецов — д-р физ.-мат. наук, директор, (496) 751-01-20 E-mail: kvd@izmiran.ru Валерий Григорьевич Петров — канд. техн. наук, зам. директора, (496) 751-09-21 E-mail: vpetrov@izmiran.ru Александр Сергеевич Амиантов — вед. инженер, (496) 751-02-93 E-mail: amiantov@izmiran.ru УДК 681.586.326 К содержанию МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ СРЕДСТВ РЕГУЛИРОВАНИЯ И МОНИТОРИНГА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В ЭНЕРГОСБЕРЕГАЮЩИХ СИСТЕМАХ Д. В. <...> Гусев, Н. Л. Данилова, В. В. Панков, В. С. Суханов Рассмотрены конструкции микроэлектронных преобразователей давления, выполненных на базе кремниевых структур. <...> Приведена конструкция, обеспечивающая защиту микроэлектронного преобразователя от воздействия окружающей среды, а также варианты использования в системах теплоавтоматики. <...> Ключевые слова: чувствительный элемент давления, датчик абсолютного давления, датчик дифференциального давления, теплоавтоматика, контроллер. <...> Одним из параметров, контролируемых в системах теплоавтоматики, является давление. <...> Измерение давления применяется для сред энергоносителей, например таких, как прямая и обратная ветки в контуре теплоснабжения, давление или перепад давлений воздуха в контуре приточной вентиляции и воздушного обогрева и кондиционирования. <...> Применение средств автоматизации в системах теплоавтоматики вызывает необходимость применения датчиков физических величин с электрическим выходом, который может быть подключен к измерительной системе для преобразования в цифровой вид и дальнейшей передачи информации пользователю. <...> Преобразователи абсолютного давления — тензомодули серии ТДМ-А и ТДМ1-А, а также преобразователи дифференциального давления ТДМ-Д (рис. <...> 1) для неагрессивных газовых сред на базе кристаллов интегральных преобразователей давления (ИПД) мембранного типа выпускаются в соответст45,0 23,4 4 5 6 7 3 2 1 13,0 9,0 Ключ (укороченный вывод <...>