УДК 681.7.069.3 ДАТЧИК ТЕПЛОВОГО КОНТРОЛЯ НА ОСНОВЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО КВАРЦА Р. Ю. <...> Гошля, В. А. Захаренко, Д. Б. Пономарев Описан тепловой приемник излучения с частотным выходным сигналом и чувствительным элементом из пьезоэлектрического кварца. <...> Использование кристаллического кварца в качестве приемника излучения (ПИ) для измерения плотности тепловых потоков в инфракрасном диапазоне связано с таким преимуществами, как высокая временная стабильность, независимость показаний от влияния электрических и магнитных полей, повышенная стойкость к механическим воздействиям и др. <...> Для исследования возможности применения кварцевого пьезоэлемента в качестве высокочувствительного ПИ был взят чувствительный элемент (ЧЭ) из кварца Y-среза (yxl/+0°), обладающего линейной температурно-частотной характеристикой и частотой основной гармоники 50 МГц. <...> На поверхности ПИ сформированы тонкопленочные электроды, поверх которых нанесено поглощающие покрытие — нихромовая чернь [1]. <...> Оптическая схема установки обеспечивает поле зрения приемника диаметром 4 мм на расстоянии 140 мм от входной диафрагмы до излучателя, диаметр излучающей поверхности составляет 8 мм. <...> Падающий на поверхность поглощающего покрытия лучистый поток Φ0, величина которого рассчитывается согласно выражению (1), изменяL' 4 5 14 Φ 15 3 Рис. <...> Экспериментальная установка: 1 — тубус; 2 — входная диафрагма; 3 — промежуточная диафрагма; 4 — теплоизоляционный кожух; 5 — кварцевый пьезоэлектрический ЧЭ; 6 — излучатель; 7 — материал с известным коэффициентом излучения; 8 — гайка; 9 — нагреватель; 10 — кожух; 11 — теплоизолятор; 12 — термопара; 13 — холодные концы термопары; 14 — генератор синусоидального напряжения; 15 — частотомер; 16 — терморегулятор 18 Sensors & Systems · ¹ 3.2011 1 L d 2 6 7 8 9 10 d' 11 12 13 16 ет резонансную частоту ПИ в зависимости от изменения его температуры. <...> Облучение поверхности датчика производилось лучистым потоком от излучателя типа “серое тело” с постоянным коэффициентом <...>