ЗАКЛЮЧЕНИЕ Проведенные эксперименты по измерению метрологических характеристик вновь изготовленных типов МДП-сенсоров с различными диэлектрическими и металлическими слоями показали, что свойства сенсоров определяются парными комбинациями металлического электрода с диэлектрическим слоем. <...> Среди десяти новых типов сенсоров найдены один тип с аномально большой и один тип с аномально малой чувствительностями к H2, H2S и NO2. <...> На пяти новых вариантах сенсоров окончательно подтвержден вывод о том, что наличие каталитических свойств металлического электрода не является необходимым условием для возникновения его чувствительности к газам. <...> Этот важный факт должен быть учтен при создании микроскопической теории механизма чувствительности МДП-сенсоров к газам. <...> Настоящая работа показала эффективность поиска устройств МДП-сенсоров с улучшенными метрологическими характеристиками. <...> Такого рода работы можно считать новым направлением — “инженерией” МДП-сенсоров. <...> Возможности использования МДП-сенсоров в качестве чувствительных элементов газоанализаторов // Датчики и системы. <...> Механизм чувствительности МДП-сенсоров к концентрациям газов // Датчики и системы. <...> Структура переходной области Pd-Si(111) при лазерном напылении палладия // Физика и химия обработки материалов. <...> Артур Васильевич Литвинов — канд. физ.-мат. наук, зав. лабораторией; 8-(903)-103-67-95 E-mail: Nikolaev@mephi.ru Лариса Николаевна Калинина — аспирант; 8-(916)-859-45-53 E-mail: Chaika_kln@mail.ru Игорь Николаевич Николаев — д-р физ.-мат. наук, професcор кафедры; 8-(495)-323-91-64 E-mail: Nikolaev@mephi.ru УДК 681.586:543.06 К содержанию ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ГАЗОВОГО СЕНСОРА С НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫМ ПОВЕРХНОСТНЫМ РЕЛЬЕФОМ И. А. <...> Аверин, В. А. Мошников, А. С. Никулин, Р. М. Печерская, И. А. Пронин Разработана управляемая методика изготовления стекловидных наноразмерных пленок для чувствительных элементов (ЧЭ) газовых сенсоров на основе физико-математических закономерностей процессов, протекающих <...>