УДК 531.768.082.14 К содержанию ЗАЩИТА МИКРОСИСТЕМНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ОТ ВИБРАЦИОННОЙ И УДАРНОЙ НАГРУЗКИ В. Д. <...> Вавилов Рассмотрен вопрос виброзащиты микросистемных чувствительных элементов, установленных в корпусе прибора. <...> Получена математическая модель системы виброзащиты в виде передаточной функции четвертого порядка и ее реализация в виде компьютерной программы. <...> Интегральные чувствительные элементы обычно выполняют в виде отдельных чипов, которые входят в состав различных измерительных и управляющих систем. <...> В зависимости от применения интегральные чувствительные элементы (ЧЭ) испытывают вместе с объектами различные вибрационные и ударные нагрузки. <...> К наиболее опасным воздействиям на ЧЭ относят совместное действие внешних ускорений при одновременном возбуждении виброколебаний со стороны основания. <...> Оптимальной конструкцией с точки зрения защиты микросистемных ЧЭ от воздействия вибрационной и ударной нагрузки является система с независимой виброизоляцией по каждой оси. <...> Рассмотрим вначале простой, но эффективный случай виброзащиты при действии на ЧЭ упругой и демпфирующей сил от основания через слой клея (рис. <...> Технически всегда реализуемо совмещение центра тяжести чипа с началом центральных осей координат. <...> С целью установления дифференциального уравнения для динамической системы согласно рис. <...> Обобщенная сила Qy представляет собой сумму внешних сил возмущения и сопротивления: Qy = –kgy – kyy0,(2) y · 1 23 y 0 4 x y kyy0 0 kgyy0• Рис. <...> Виброзащита интегрального чипа с помощью слоя клея: 1 — основание корпуса; 2 — кремниевая пластина; 3 — стеклянная обкладка; 4 — слой клея 20 Sensors & Systems • ¹ 12.2011 где kgy = kyη/ωc — абсолютный гистерезисный коэффициент слоя клея; ky = EкS/L — осевая жесткость слоя клея; Eк — модуль упругости слоя клея; S — площадь поперечного сечения слоя клея; L — толщина слоя клея; ωc — собственная частота системы виброзащиты; η — относительный коэффициент динамических потерь. <...> Между коэффициентом <...>