УДК 681.586.72:620.264.1 К содержанию СЕНСОРЫ ДЛЯ МОНИТОРИНГА СОДЕРЖАНИЯ ЛЕГКОВОСПЛАМЕНЯЮЩИХСЯ ЖИДКОСТЕЙ В ВОЗДУХЕ. <...> Русских, А. М. Чуйков, А. Б. Плаксицкий, А. В. Калач Представлены результаты оценки газовой чувствительности полупроводниковых сенсоров для малых концентраций этанола и изопропилового спирта Ключевые слова: сенсоры, легковоспламеняющиеся жидкости, мониторинг. <...> ВВЕДЕНИЕ Современный уровень развития промышленности требует применения различных систем непрерывного мониторинга технологических процессов и состояния окружающей среды для предотвращения выбросов опасных для здоровья и жизни человека веществ. <...> В таких системах чаще всего используются относительно дешевые, малогабаритные, но при этом обладающие высокой чувствительностью, полупроводниковые датчики газов [1]. <...> Ведущие мировые производители (Rilken Keiki, Nippon Monitors, Figaro, Taguchi и др.) уже несколько десятилетий занимаются исследованиями, разработкой и производством сенсоров такого типа. <...> Они находят широкое применение на химических, горнодобывающих, металлургических и многих других промышленных объектах для обеспечения безопасной работы персонала, а также в быту во избежание взрывов бытового газового оборудования и для проведения экологического мониторинга окружающей среды. <...> Серийно выпускаемые в мире сенсоры получают, как правило, на основе керамической и толстопленочной технологии. <...> Однако такие датчики обладают рядом недостатков: дрейф электрических параметров сенсорных слоев при длительном хранении на воздухе, необходимость нагрева до высоких температур порядка 500 °С при определении газовой чувствительности и десорбции газов, что ограничивает их применение для контроля легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов, а также недостаточная селективность к различным газам. <...> Наиболее перспективным направлением в современной микроэлектронике является разработка тонкопленочных полупроводниковых сенсоров газов. <...> Основными <...>