Задавая определенные значения параметрам γi, можно изменять число измерительных обмоток, их расположение и схему включения, оптимизируя таким образом вид выходной характеристики ВДП. <...> Основные технические характеристики растровых датчиков перемещений Диапазон измерения перемещений, мм . <...> Алексей Геннадиевич Дмитриенко — канд. техн. наук, ген. директор; E-mail: niifi@sura. ru Анатолий Николаевич Трофимов — канд. техн. наук, помощник зам. ген. директора по научной работе; (8412) 59-19-30 (8412) 55-14-99 E-mail: niifi@sura.ru Алексей Анатольевич Трофимов — д-р техн. наук, зам. начальника УНЦ-37; (8412) 56-04-54 E-mail: umc37@mail.ru Виталий Львович Кирьянов — вед. инженер-конструктор. <...> 59-19-69 E-mail: niifi@sura.ru УДК 531.781.2.084.2:629.7 ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ ДЛЯ РАКЕТНОЙ И АВИАЦИОННОЙ ТЕХНИКИ Е. М. <...> Белозубов, А. Г. Дмитриенко, С. А. Исаков Рассмотрены датчики давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем для ракетной и авиационной техники, в том числе с минимизированным влиянием нестационарных температур и виброускорений, расширенным диапазоном температур и улучшенными характеристиками. <...> Ключевые слова: тонкопленочный датчик давления, нано- и микроэлектромеханическая система, нестационарная температура, виброускорения. <...> Датчики давления — один из важнейших элементов систем измерения, управления, контроля и диагностики изделий ракетной и авиационной техники, которые, как известно, относятся к технически сложным объектам. <...> Анализ результатов эксплуатации датчиков давления в изделиях ракетной техники выявил критичные для датчиков факторы: это воздействие широкого диапазона нестационарных температур измеряемой и окружающей среды, а также повышенных виброускорений в широком диапазоне частот. <...> В изделиях авиационной техники критичными ВВФ для датчиков являются воздействие широкого диапазона стационарных температур и длительное воздействие сравнительно невысоких уровней виброускорений <...>