Применение хорошо отработанных в ОАО “НИИФИ” МЭМС-технологий и специально разработанных СБИС “емкость — напряжение” позволяют реализовать датчики сейсмоскорости с характеристиками, обеспечивающими коэффициент преобразования и динамические характеристики на уровне лучшего зарубежного аналога. <...> Полученные характеристики позволяют обеспечить высокие конкурентные преимущества МЭМС-датчика сейсмоскорости на рынке приборов, предназначенных для мониторинга сейсмических событий техногенного и естественного происхождения. <...> Сергей Иванович Торгашин — директор по производству ОАО “НИИФИ”; Антонина Алексеевна Папко — д-р техн. наук, профессор, гл. конструктор направления ОАО “НИИФИ”. <...> 56-04-47 УДК 681.586 ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, УСКОРЕНИЯ И ТЕМПЕРАТУРЫ НА БАЗЕ МЭМС-ТЕХНОЛОГИЙ А. В. <...> Блинов, А. Е. Мишанин, С. А. Москалев, И. В. Ползунов Рассмотрены применение МЭМС-технологий для разработки интегрального многофункционального датчика физических величин, предназначенного для измерения давления, ускорения, температуры, а также принципы преобразования, заложенные при проектировании датчиков давления, температуры и ускорения. <...> Отмечено, что интегральный многофункциональный датчик физических величин на основе МЭМС-технологий отличается рядом положительных свойств в сравнении с датчиками давления, ускорения и температуры, связанных с уникальными конструктивными и технологическими решениями. <...> Ключевые слова: датчик давления, МЭМС-акселерометр, датчик температуры, МЭМС-технологии, интегральный многофункциональный датчик физических величин. <...> Стремительное развитие технологий в различных отраслях науки и техники обеспечивает возможность качественной модернизации не только существующих образцов ракетно-космической техники (РКТ), но и создание техники с новыми свойствами. <...> При разработке перспективной РКТ все больше применяют цифровую технику на основе микроэлектромеханических систем <...>