ДАТЧИКИ МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН УДК 531.768.681.2.089 К содержанию ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ МЭМС-ДАТЧИК СЕЙСМОСКОРОСТИ ДЛЯ СИСТЕМ АВАРИЙНОЙ ЗАЩИТЫ И ДИАГНОСТИКИ С. И. <...> Торгашин, А. А. Папко Представлены результаты разработки датчика сейсмоскорости на основе МЭМС-технологий, внедренных в ОАО “НИИФИ” с начала 1980-х годов прошлого столетия. <...> Показаны преимущества МЭМС-датчика в сравнении с известными аналогами, заключающиеся в улучшении массогабаритных и энергетических характеристик. <...> В составе аппаратуры сетей сейсмических наблюдений и систем аварийной защиты широко используются датчики инерционного действия — короткопериодные сейсмометры с частотным диапазоном измерений от 0,1 до 100 Гц, широкополосные датчики сейсмоскорости с частотным диапазоном от 0,003 до 50 Гц и датчики сильных движений — акселерометры с частотными диапазонами от 0 до (100.200) Гц. <...> Полное и достоверное исследование сейсмических процессов обеспечивается сочетанием акселерометров и датчиков сейсмоскорости. <...> Благодаря развитию микросистемных технологий наибольшие достижения получены при разработке акселерометров, таких, как АЛЕ 037 (ОАО “НИИФИ”), CMG-5 (Guralp). <...> Известные датчики сейсмоскорости, например CMG-3 (Guralp) и KS-2000 (Geotech), в сравнении с акселерометрами отличаются большими габаритами и энергопотреблением. <...> Указанные недостатки могут быть преодолены в МЭМС-датчике сейсмоскорости. <...> Создание такого датчика в ОАО “НИИФИ” представляет собой решаемую техническую задачу в связи с тем, что предприятием при серийном производстве микромеханических датчиков различных физических величин накоплен значительный научно-технический и технологический задел. <...> Рассмотрим особенности реализации МЭМС-датчика сейсмоскорости на основе анализа динамического поведения механической колебательной системы (МКС), содержащей инерционный элемент m, упругий элемент с жесткостью с и демпфер с коэффициентом демпфирования h. <...> Через параметры m, c, h выражаются обобщенные <...>