717.2:389 К содержанию РАЗРАБОТКА И АТТЕСТАЦИЯ КОМПЛЕКТА МЕР СТЕПП-ИФП-1 ДЛЯ ОБЕСПЕЧЕНИЯ ЕДИНСТВА ИЗМЕРЕНИЙ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ1 Д. В. Щеглов, C. <...> Косолобов, А. В. Латышев, В. Ф. Матвейчук, В. В. Копытов, В. И. Евграфов, Г. В. Шувалов, С. А. Загарских, К. В. Тукмачев Приведены методика и результаты аттестации “Комплекта мер высоты СТЕПП-ИФП-1”, предназначенных для обеспечения единства измерений в нанометровом диапазоне. <...> Ключевые слова: меры высоты, нанометровый диапазон измерений, испытания в целях утверждения типа. <...> На сегодняшний день чрезвычайно актуальны измерения объектов размерами менее 100 нм. <...> Для этих измерений применяются различные микроскопы, в том числе сканирующие зондовые атомно-силовые (АСМ) [1] и цифровые интерференционные. <...> Для обеспечения единства измерений в данном диапазоне размеров используются различные меры рельефные нанометрового диапазона [2]. <...> К таким мерам относятся меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К [3] и меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 [4]. <...> Данные меры имеют минимальный номинальный размер по высоте рельефа 20 нм, что не позволяет осуществлять калибровку АСМ в области размеров менее 20 нм. <...> А. В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) в течение ряда лет проводились исследования профиля топографических особенностей поверхности, в частности измерения высоты ступенчатых рельефов на гладких поверхностях посредством различных измеряющих профиль инструментов [5], что дало возможность создания мер нанометрового диапазона, состоящих из счетного количества равных по высоте моноатомных ступеней. <...> Работа по аттестации Комплектов мер высоты СТЕПП-ИФП-1 1 Работа выполнялась в рамках Федеральной целевой программы “Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008—2011 годы”. <...> Поверхность Комплекта с указанием местоположения и размеров мер Датчики и Системы · ¹ 6.2012 21 (далее Комплект) выполнялась совместно ИФП СО РАН, ЦКП “Наноструктуры” и Сибирским <...>